以cr为中间层类石墨梯度层微观结构分析-材料分析测试课程论文.doc

材料分析测试 题目： 以cr为中间层的类石墨梯度层微观结构分析 学院 材料科学与工程 专业 材料物理 班级 材物092 学生 学号 3080101354 指导教师 陈迪春 起止时间 2012.12.24~2013.01.04 2012 年 秋季 学期 材料分析测试课程设计任务书 材料物理与化学系 材料物理 材物092 第2组 课程设计题目： 以cr为中间层的类石墨梯度层微观结构分析 课程设计内容要求： 用闭合场非平横磁控溅射方法制备类石墨中间层,并且运用xps和各种电镜分析手段分析检测该薄膜的成分、微观组织形貌 、掺杂cr对其理化性质的影响。得出结论，并完成一篇课程设计论文。    学生（签名） 2013 年 1 月 4 日 材料分析测试方法课程设计评语   教师签字： 年 月 日 目录 第一章 前言 - 2 - 1.1 类石墨镀层（GLC）简介 - 2 - 1.2 类石墨镀层制备技术 - 2 - 1.3 非平衡磁控溅射技术简介 - 3 - 第二章 实验分析方法及实验仪器 - 4 - 2.1 实验分析 - 4- 2.2 实验仪器及简介 - 4 - 第三章 实验结果分析 - 6 - 3.1 XPS分析 - 6 - 3.2 电镜分析 - 8 - 3.2.1 TEM分析 - 8 - 3.2.2 SEM分析 - 10 - 3.3 原子力显微分析（AFM） - 12 - 第四章 结论 - 14 - 前言 为适应精密制造的切削加工要求,期望刀具镀层具有小的摩擦系数,低磨损率,自润滑和高温环境下的组织稳定性.被深入研究的金刚石和类金刚石镀层是以sp3碳键结构为主，表现出非常好的摩擦学性能，已应用在刀具模具表面作为减模抗模镀层，但这两种镀层都有很高的内应力，降低了镀层与基体结构强度，导致镀层容易从基体上剥落，影响其使用寿命，此外与黑色金属之间的能媒效应，引起镀层的金刚石结构向石墨结构转化而早期失效，而且硬度高，脆性大，承载能力差，使其工业应用受到了限制。1996年，提出了高硬度sp2碳结构的存在，很快有人发现，主要有sp2结构的碳镀层硬度可接近金刚石的硬度。而具有石墨的导电性能，被称之为类石墨镀层。若在glc中引入少量的ti或cr等元素，不但可保持其高硬度，低摩擦系数，低磨损率，较好地韧性极高承载能力。在空气或水中表现出更出色的摩擦性能。且随载荷的增加，摩擦系数还相应降低，金属铬在镀层中还具有增强韧性和抗氧化性能，明显改善镀层的综合性能。且此掺铬类石墨镀层被认为是一种此类金刚石镀层应用前途更广阔的理想减摩抗摩镀层。 1.1类石墨镀层简介 类石墨( Graphite-Like Carbon, GLC) 镀层是以sp结构为主的高硬度碳镀层, 硬度可达到20 ~40GPa 。GLC 镀层具有良好的导电性能、适中的硬度、高承载能力、很低的摩擦系数和磨损率, 而且与黑色金属接触时不存在触媒效应, 可应用于电子、机械、医疗器械等行业, 因而引起了材料研究者的关注。制备GLC 镀层的方法有磁控溅射法 和离子束辅助磁控溅射法 。目前对GLC 镀层的研究还不够深, 不同的工艺沉积的镀层性能有较大差异。 1.2类石墨镀层制备技术. 采用离子束辅助磁控溅射技术，闭合场非平衡磁控溅射技术都可以制备具有适中硬度，优良摩擦性能的类石墨膜。然而，采用离子束辅助磁控溅射技术制备的类石墨镀层在一定程度上可以通过改变膜层的组织来获得良好的性能，但却不能实现复合成分和梯度结构设计，难以获得具有优异结合性能的镀层。在本文中，采用非平衡磁控溅射离子镀