干涉测量系统设计毕业论文.docxVIP

毕业设计设计题目干涉测量系统的设计学生姓名学号 专业班级光信息09-1班指导教师院系名称仪器科学与光电工程2013 年 6月 14日干涉测量系统的设计摘要：光学干涉测量技术是以光波干涉原理为基础的一门技术，不但是实验物理学的重要方法，而且广泛应用于其它学科。与一般的光学测量方法相比，光学干涉测量技术具有更高的灵敏度和精度。因为干涉仪是以干涉条纹来反映被测物理量，如位移、折射率、波长等的变化信息。文章主要介绍了一种基于迈克尔逊干涉仪的微小长度测量装置的设计方案，分析了对计数进行干扰的几种因素以及其排除的方法。设计应用光电变换原理，通过光信号转换为电信号，再经适当处理，把干涉条纹变化的数量用计数器记录并显示出来，与常规读数显微镜测量数据进行了对比。测试结果表明该仪器具有原理简单、测量精度高、容易实现、更加直观等特点，可作为大学物理实验室的创新设计性实验来设置，推广性强。关键词：灵敏度、精度、迈克尔逊干涉仪；微小长度测量；干扰；显示。Design of interference measurement systemAbstract:Optical interferometry is a technology based on optical interference principle，method is not only important in experimental physics，but also widely used in other disciplines. Compared with the optical measurement method，optical interferometry has greater sensitivity and precision.Because the interferometer is based on interference fringe to reflect the measured physical quantity，change information such as displacement，refractive index，wavelength.This paper mainly introduces a design scheme of the small length measuring device based on Michelson interferometer, analyzes several factors disturbing the count and the method of elimination. Design and application of photoelectric transformation principle, the optical signals are converted to electrical signals, after proper treatment, the number of interference fringes is displayed by the counter, compared with conventional measuring data reading microscope. The test results show that the instrument has the characteristics of simple principle, high accuracy, easy realization, more intuitive, can be used as experimental innovation design of university physics laboratory to set, the promotion of strong.Keywords:sensitivity; precision; Michelson interferometer; the small length; disturb; displayed第一章绪论测量在工业中是不可缺少的，如长度的测量，位移的测量，速度的测量等等。不同的应用，要求的测量精度不同，因而需要用不同的手段去实现。1.1课题的背景及意义随着近代工业的迅速发展，微位移测量变得十分重要，且现代工业技术的发展对微位移测量的精度和方式提出了更多更高的要求。以长度或位移的测量为例，当测量精度要求为毫米量级时，用普通米尺就足够了，而卡尺的测量精度则可达到百分之一毫米。进行更精密的测量时，特别是对运动物体的位置测量，传统方法就有些力不从心了。干涉测量技术是以