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小景深自检系统构架 　　[摘要] 中国太阳能产业大多集中在从多晶硅到电池片的生产模式上。多晶硅太阳能电池的产业链有硅料、硅片、电池片、电池组件、应用系统5个环节,其整个产业链中检测技术基本被国外垄断,国内设备大部分是手动或半自动,设备之间的衔接依靠人工来完成。手工操作根本无法适应超大、超薄硅片生产工程中的质量检测要求。由于太阳能电池片是大面积表面产品,一片晶圆在成品过程中经过很多工作站,为了适应大面积高分辨率的高速检测要求,构架了太阳能电池板生产流程检测系统以提高飞速发展的太阳能产业的需求。 　　[关键词] 机器视觉 检测 线扫描 运动控制 　　 　　1、引言 　　大面积高分辨率的高速检测设备是一多学科、高价格、多应用的复杂的综合项目。首先,在国外是AOI产品的标准化检测;美国康耐视等厂商的在线检测系统;日本台湾和韩国的产品的专业生产线等等;再次,在中国LCD显示屏和太阳能电池片生产线上的应用也越来越广;中国的太阳能产业大多集中在从多晶硅到电池片的生产模式上,其中太阳能电池板流程检测包括:晶元裂缝和孔洞检测;杂质和绝缘检测;原始板颜色检测;贴合印刷和干燥(电池板表面印刷处理位置检查、检测电池板两边的印刷线路连贯性、无断点,且保证间距相同,线条平行);检查分类 ;电池模组制造(检验电池间焊接带、电子线路定位玻璃衬底标识码识别);成品间距检测等等。而大部分检测设备是手动或半自动。从中国陆续投资的超大容量太阳能产业来看,其生产设备和检测标准急需充实和完善。那么,为了适应大面积高分辨率的高速检测要求,拟开发太阳能电池板生产流程检测系统势在必行。 　　2、系统总体设计 　　大面积高分辨率的高速检测设备首先是PCBASE为基础框架。系统硬件设计示意图如图1,由计算机和检测系统两部分组成。为了跟上系统数据传输和处理速度,计算机要选择微软的WINDOWS 系统平台,64位双核 PCIE 插槽计算机;检测系统包括相机运动控制、图像采集、照明、检测工作台和支架。为适应检测的超大数据流量,数据采集卡Framegrabber 采用PCIE接口。相机运动控制包括运动控制卡、伺服电机等。图像采集包括图像采集卡、数字线扫描相机、镜头、光栅尺、分频器等。照明包括LED背光源和光源控制器。 　　 　　图1:系统硬件设计 　　检测系统数据采集系统采用数据采集卡Framegrabber 带有PCIE接口。 　　具有编码器读数功能。线扫描系统Line-scan Camera获得检测零件的扫描图像数据,然后依次进行图像预处理,二值化处理、轮廓矢量化和对比检测等。 　　3、硬件主要参数 　　在本系统中,线扫描系统主要组件分为视觉及运动控制两大主轴。线扫描系统Line-scan Camera 的使用首先能够符合系统的目标精度需求,其次是Line-scan Camera 的扫描频率(Line-Rate)的计算方式。 　　3.1计算线性扫描摄像机的扫描频率计算方式 　　Line-scan Camera 的扫描频率的计算方式如下, 主要是Camera 的数据产生频率(Data Clock)及分辨率的对应关系。扫描频率(Line Rate) = Camera数据产生频率 / Camera 分辨率Ex. Line Rate = 40MHz / 8192 pixels = 4.8KHz也就是说这台Camera 最高速度可以每秒取得大约4800条 8192 pixels 的线性影像数据线周期(Line Period) = 1/ Line Rate, 也就是上述规格的摄影机每扫描一条线至少需要花费 208us左右。 　　3.2计算线性扫描摄影机的可视范围 　　可视范围(FOV) = Pixel cell size x 多少个 pixels x 工作距离 / 镜头焦距(Focal Length)Ex. FOV = 10um x 2048pixels x 160mm / 55mm = 59.578mm。Line-scan Camera 由于CCD sensor 的制程不一样或分辨率不一样, 因此每颗CCD上的光电二极管(Photodiode) 也就是所谓的每个pixel 的尺寸大小不一定相同,就是说就算是同样选择 2048 pixels的Line-scan Camera, 假若 A公司用的 CCD Sensor 的 Pixel cell 的尺寸为 10um, 但 B公司用的 CCD Sensor 的 pixel cell 为 7um, 那么就算是同样的工作距离及同样的 Focal Length 条件下, 两家公司的Camera FOV仍然是不相等。光源的选择在选择辅助光源时, 切勿将区域扫描(Area-scan)用的交流电(AC Power)光源在线性扫描