多晶硅业安全技术方案培训.ppt

液氯瓶 CL2缓冲罐 净化后的H2 H2缓冲罐 HCL 合 成 炉 一级冷凝器 二级冷凝器 除雾器 HCL缓冲罐 SiHCL3沸腾炉 图：氯化氢合成工艺流程图 3.工艺操作安全要点及要求 ⑴点火前的准备：检查整个系统的设备、管道、阀门及压表、温度计是否正常，各类阀门必须灵敏好用。系统试压时应充N2，用肥皂水检查各接头处；除N2管道外其他各部分亦可通入微量Cl2，用氨水检查，若发现漏气现象应及时处理，确保不漏气时方可点火。氢气系统试压完成后，用H2直接将本系统内的N2或空气冲洗排空一定时间，经检测分析确定含H2量合格方可准备点火。氯气系统检查合格后，将Cl2缓冲罐内充满待用。氯化氢合成前冷凝器、水冷却器预先预先通入冷媒冷却，并准备好KI-淀粉溶液。点火前将炉门打开并卸下，才能用真空橡皮管与氢气管连接点火下法兰，打开真空阀门，排除炉内残留气体。用纸置于炉门处检验炉内是否为负压，确定为负压后继续抽空数分钟，然后开始点火。 ⑵点火操作：正式点火之前，通知H2站正常供应氢气操作者准备好工具及劳保用品后即可点火。点火时将火把用手置于H2进气管下法兰嘴处，接着缓慢打开氢气控制阀门，H2自该法兰嘴处喷出着火（带微弱爆破声），随即调节H2流量大小，使火焰适当后，迅速与点火上法兰对好接上（这一操作必须戴好石棉手套和有机玻璃面罩，并力求稳、准、块，严防火焰外喷），立即适当调节H2火焰在炉门内燃烧。再打开Cl2阀门，H2、Cl2即在灯头出口反应，其燃烧火焰呈蜡烛状时，便可关好炉门停止抽空，这种点火方法称为炉外点火。 若点火失败，必须重复抽负压，方能点火开车。量初生成的HCl气体纯度较低，可将HCl输送至水洗塔排出，紧接着调节Cl2、H2流量，用KI淀粉溶液检测HCl纯度，至HCl气体纯度达到规定指标为止，再关闭放空，开冷凝器， HCl经冷凝器冷凝、除雾器后经HCl缓冲罐，沿管线送至沸腾炉内合成三氯氢硅。 ③净化剂的使用、活化与再生 各种净化剂要求一定的使用条件：如温度、压力等。在使用中不但要控制使用条件，而且还要注意其他各种影响因素以及长期使用净化能力是否减弱或失效，是否需要再生。在使用中，严禁空气吸入净化系统。当有降温、降压、断氢或停氢时，首先应保证系统为正压。新装的净化剂由于在空气中氧化或吸水，使用前应进行活化。再生方法与再生程度决定于净化剂的性质，再生的程度和时间应根据净化剂性能与用量、吸水量等条件确定，一般以彻底除去杂质为原则。 ④工艺流程图 原H2 阻火器 除油器 Ni-Cr催化 水冷器 加热器 硅胶 硅胶 水冷器 钯催化 粗H2用户 分子筛 粗过滤 精过滤 纯H2 图： 氢气净化工艺流程图 净化工艺流程原理：利用氢和氧在Ni-Cr催化剂的作用下转化为水，然后通过各种吸附剂将水等杂质吸附，并通过过滤器除去氢气中的固体微粒，从而达到提纯氢气的目的。 ⑵氢气的储存和运输 ①管道氢气的输送： 可以像天然气一样，用远距离管道输送。按气体扩散定律，氢气在管道中的流速将是甲烷的3倍。所以将来如果用氢气代替天然气作常规燃料气，单位时间管道输送来的能量基本不变，但压送氢气的压缩机要求3倍于天然气的压缩功率才行。此外管道氢气运送对泄漏问题要求更严格。 ②高压气瓶运输： 氢气可以在150～400atm下装盛在气体钢瓶中，以压缩气体形式运输。这种技术已经得到充分发展，比较方便可靠，但效率是极低的。一只30kg重的气体钢瓶在150atm下仅能装盛1kg氢气，在400atm下也仅能装2.5kg氢气。氢气重量在运物工具重量中只占2%～4%，所以氢气的运输成本是昂贵的。这种技术仅适用于运输少量氢气运用于氢气价格不占很重要比例的场合。 ③液氢的存储：将氢气冷却到-253℃，即可呈液态，然后，将其储存在高真空的绝热容器中。液氢储存工艺首先用于宇航中，其储存成本较贵，安全技术也比较复杂。现在一种间壁间充满中孔微珠的绝热容器已经问世。这种二氧化硅的微珠直径约为30～150μm，中间是空心的，壁厚1～5μm.在部分微珠上镀上厚度为1μm的铝。由于这种微珠热导率极小，其颗粒又非常细，可完全抑制颗粒间的对流换热；将部分镀铝微珠（一般约为3%～5%）混入不镀铝的微珠中可有效地切断辐射传热。这种新型的热绝热容器不需抽真空，其绝热效果远优于普通真空的绝热容器，是一种理想的液氢储存罐，美国宇航局已广泛采用这种新型的储氢容器。 3.氢气的安全使用和管理 氢气是易燃易爆气体，氢气与空气混合到一定比例，形成爆炸气体，遇到微火源（含静电和撞击打火），就