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硕士论文 Ti02及其掺杂膜的制备、结构及性能研究 摘 要 Ti02化学稳定性好、无污染、成本低廉、光催化活性高，是目前最具开发前途的 催化剂。然而，由于Ti02光催化剂主要依赖于紫外光，对可见光的利用率低，因此 限制了它的应用。为了提高Ti02在可见光区范围的吸收，必须对其改性。 本文采用电子束蒸发法分别制备了掺杂Fe、Cu、A1的Ti02薄膜，研究主要工艺 参数：掺杂元素种类和含量、基底材料及退火温度对薄膜成分、结构和形貌的影响。 和X射线光电子能谱(XPS)等测试手段对薄膜的表面形貌、晶型结构和成分进行了 表征，用紫外．可见分光光度计(UV二Ⅵs)测试Ti02薄膜的吸光度，研究不同元素的 掺杂对薄膜可见光吸收范围的影响。结果发现，金属离子的掺杂抑制了Ti02薄膜晶 型的转变，并且掺杂后的Ti02薄膜吸收带边发生红移，扩展了其吸收波长的范围。 采用电子束蒸发法制备了掺杂B的Ti02薄膜，探讨了在普通玻璃片、石英玻璃 和陶瓷三种不同基底及不同退火温度下对薄膜成分、结构和形貌的影响。研究表明， 在石英基底上制备的B．Ti02薄膜效果最好，同时B的掺杂也扩展了薄膜的吸收波长 范围。 将所制备的掺杂Ti02薄膜分别以一定比例添加到甲基橙溶液中，通过光催化实 验研究其在不同光源、不同甲基橙初始浓度条件下的降解率，分析薄膜的制备工艺参 数对其光催化作用的影响。 关键词：二氧化钛薄膜，掺杂，电子束蒸发，晶体结构，光催化性能 Abstract 硕士论文 Abstract is as most duetoitsnature the catalytic stability, Ti02regarded promising and activity．However,ithighphotocatalyst avirulent，low-costhi．ghphotocatalyst theirritationoftheUV whiletheutilizationofthe Oil light performancestronglydepend visibleis limitits ordertomakefulluseofthe limited，whichseverely application．In light bemodified． solar titaniumdioxidemust rays，the films electron In titanium were this dioxide(Ti02)thinpreparedby paper，Fe，Cu,Al-doped beam method．Theinfluenceofsubstrate ions，dopping evaporation material，doping concentrationand the andthe component，structure annealingtem