微惯性技术PPT.ppt

微惯性器件元件;主要内容;微加速度计;1.1 加速度计;1.2 基本工作原理;1.3 微加速度计的分类;按控制方式来分： 有开环式和闭环式。 ;根据梁的个数 单梁结构、单端双梁结构、双端双梁结构、多梁结构 ;;根据敏感轴数量 单轴、双轴、三轴;按信号检测方式来分 压阻效应 电容效应 隧穿效应 压电效应 电感效应 谐振效应 热效应 光学效应;1.1 压阻式加速度计;典型压阻式微加速度计结构图;压阻式微加速度传感器温度补偿电路设计;漂移电压源灵敏度温度补偿 ;1.2 电容式加速度计;电容式传感器需掌握的几个公式;1.2.1 平板电容式加速度计 ;图a;4.2.2 扭摆式微机械加速度计 ;;动极板角位移引起敏感极板电容量的变化为 ;4.2.3 梳齿式电容微机械加速度计 ;;在没有加速度输入时 加速度a作用时, 摆片将移动一个小位移 ;4.2.3 用于微弱差动电容的检测方法 ;4.3 隧道式微机械加速度计 ;实验发现，当这两极间距减少0.1nm，隧道电流将增加10倍，利用这种效应可以测量加速度。电子隧道型加速度计通常由检测质量、支承梁、隧道探针和控制电路等部分组成。它的工作原理是，当被测加速度使检测质量与隧道探针之间距离发生变化时，两极间将产生巨大的电流变化，检出这一变化信号就可测得加速度。 ;特点 极高的灵敏度 不受稳定影响 低频噪音太大 必须闭环工作;;;信号检测;4.4 谐振式加速度计;工作原理;加速度传感器的分辨率跟下列因素有关： （1）加速度计的加工工艺。 工艺精度越高，加工出两个谐振梁的特性可以更加接近，固有频率近似相等，即可以大大地提高传感器输出信号的分辨率。 （2）谐振梁本身的特性有关。相应地增大两个谐振梁刚度，提高谐振梁的固有频率，也可提高传感器的分辨率，但梁刚度则又影响到了加速度作用时梁的变形量，所以必须综合考虑梁的刚度影响。;电路设计及计算机仿真 ;驱动电路 ;频率检测电路 ;差频电路 ;4.5 热对流式加速度计;工作原理;检测电路;4.6 压电式加速度计;;4.7 微型双轴加速度计 ;带折叠梁的叉指电容式微加速度传感器结构示意图 ;4.8 微型三轴加速度计;三轴硅微压阻式加速度计 ;Sandia National Laboratories 三轴加速度计;微机械加速度传感器;5 ??加速度计的设计程序;基本指标和测试;基本设计问题——机械;基本设计问题——电路;基本设计问题——电路;基本设计问题——闭环控制;基本设计问题——闭环控制;详细设计、加工过程;;;微陀螺仪;陀螺仪简介;非机械陀螺利用光环使光束在相反方向旋转。当陀螺结构旋转时，检测光束的多普勒移位。 而宏观的机械式的陀螺通常是用一个旋转的圆盘产生一个惯性的参照体，由于微机械方法加工带有足够质量的旋转部分很难，所以典型的微机械陀螺使用振动结构。;角速率传感器——基本工作原理;陀螺仪简介;音叉式陀螺仪原理介绍;角速率传感器——基本工作原理;角速率传感器——音叉式;典型的陀螺仪;典型的陀螺仪;典型的陀螺仪;典型的陀螺仪;美国BEI公司生产的QR14;陀螺仪的分类;1）振动式微机械陀螺仪;可分为： 梳状驱动平板式振动陀螺仪 梳状驱动音叉式振动陀螺仪 电磁驱动音叉式陀螺仪 振环式陀螺仪 压电棒式振动陀螺仪 声表面波振动陀螺仪;2）转子式微机械陀螺仪;3）微机械加速度计陀螺仪;角速率传感器——读出技术;国外研究情况（一）;国外研究情况（二）;国外研究情况（三）;国外研究情况（四）; 谢谢 !