光学检测下气浮支承的玻璃薄板变形-光学精密工程.pdfVIP

第 卷 第 期 光学精密工程 棽椂 暋 棻 暋 斨旓旍棶棽椂暋斘旓棶棻 暋暋暋暋暋暋暋暋暋暋斚 旚旈斻旙斸旑斾斝旘斿斻旈旙旈旓旑斉旑旈旑斿斿旘旈旑 暋暋暋 暋暋暋 年 月 旔 旂 旂 棽棸棻椄 棻 暋 暋 暋暋斒斸旑棶棽棸棻椄 文章编号 棬 棭 暋棻棸棸棿灢椆棽棿斬棽棸棻椄棸棻灢棸棻棻棿灢棸椄 光学检测下气浮支承的玻璃薄板变形 棳 棳 棻 棻棽灣 棻棽 棳 棳 黄 斌 李程伟 王晓梦 暋 棬 棳 椈 合肥工业大学仪器科学与光电工程学院 安徽合肥 棻棶 棽棾棸棸棸椆 棳 棭 合肥工业大学智能制造技术研究院 安徽合肥 棽棶 棽棾棸棸棸椆 椇 棳 摘要 液晶玻璃基板在线检测过程中对玻璃板在垂直方向上的变形量有严格的要求 为了确定在指标要求光学检测精度 暎 棳 下的喷嘴间距 本文基于弹性薄板的小挠度弯曲理论对气浮支承下的液晶玻璃板进行理论分析 推导出液晶玻璃薄板 棳 暍 椈 在吹吸喷嘴作用下的最大挠度计算公式 分析得出最大挠度与通孔间距的二次方 载荷集度成正比 通过 斊旍旛斿旑旚对液晶 棳 棳 玻璃基板气浮支承系统进行仿真 得到了不同的喷嘴孔间距下的载荷分布以及玻璃基板最大位移处受到载荷的准确值 暍 棳 从满足玻璃板最大位移要求 气膜面的压力分布状况及经济性方面综合考虑得到气膜单元的通孔横向间距范围 给出了 棳 暎 采用气浮支承传输的液晶玻璃基板光学检测仪器的喷嘴布置参数 即喷嘴的合理间距应处于棽棸暙棽椀旐旐之间 椇 椈 椈 椈 椈 关 键 词 玻璃基板检测 连续载荷 挠度 仿真 气浮支承 暋 暋 斊旍旛斿旑旚 中图分类号椇 棳 文献标识码椇 椇 棷 斣斎棻棽棽斣斍椂椀暋暋 斄暋暋斾旓旈棻棸棶棾椃椄椄斚斝斉棶棽棸棻椄棽椂棸棻棶棸棻棻棿 斈斿旀旓旘旐斸旚旈旓旑旓旀旍斸旙旙旙旇斿斿旚旙旛 旓旘旚斿斾斺 斸旙斺斿斸旘旈旑旛旑斾斿旘旓旚旈斻斸旍旚斿