[信息与通信]第二章2长位移传感器.pptVIP

第三节 大位移传感器 一、磁栅式位移传感器 磁栅位移传感器精度较高，可达0.01mm/m，分辨力为1—5μm，测量范围宽，可达十几米,抗干扰能力强。但磁信号的均匀性和稳定性对其精度影响较大。磁栅可分为长磁栅和圆磁栅，分别用于直线位移和角位移测量。磁栅传感器主要由磁尺、磁头和信号处理电路组成。 磁栅的外形及结构 磁栅（磁尺）是用非导磁性金属材料作尺基，在其上均匀镀一层磁性材料薄膜，通过录音磁头沿长度方向按一定波长在尺上录上周期性的磁信号。相邻栅波的间距称为磁栅的波长（周期），又称节距（栅距）。磁信号的极性是首尾相接。测量时，用重放磁头将磁栅上记录的磁信号还原，就把被测位移转换成电信号。 　　 磁尺是磁栅传感器的基准元件，波长就是磁尺的长度计量单位。任一被测长度都可用与其对应的若干磁栅波长之和来表示。 磁栅上的磁信号由读取磁头读出，按读取信号方式的不同，磁头分为动态与静态两种。 动态磁头又称速度响应式磁头，它只有一组线圈。当磁头与磁栅之间以一定的速度相对移动时，由于电磁感应将在磁头线圈中产生感应电动势。磁头与磁栅之间的相对运动速度不同,输出感应电动势的大小也不同, 静止时，就没有信号输出。因此它不适合用于长度测量。 　　当动态磁头沿磁尺作相对运动时输出正弦波，在N，N重叠处正信号最强，在S，S重叠处负信号最强。 静态磁头又称磁通响应式磁头，有励磁绕组和输出绕组。当磁头不动时，也有信号输出。当磁头运动时，幅值随磁尺上的剩磁影响而变化，由于剩磁形成的磁场强度按正弦规律变化，输出绕组的感应电动势为正弦波，其频率为励磁电源频率，幅值则与磁栅与磁头之间的相对位移有关。 静态磁头一般总是成对使用，即用两个间距为（n±1/4）W的磁头，其中n为正整数，W为磁节距，也就是两个磁头布置成在空间相差90°。 将两个输出线圈差动连接,则输出电动势为: E=Umsin（ωt+2πS/W） S为磁头在磁尺上的移动距离 磁头与磁尺相对运动时的输出波形演示 二、光栅式位移传感器 光栅定义：在光学玻璃（或有强反射能力的金属表面）上进行刻划，可得到一系列均匀密集的平行刻线，这种具有周期性的刻线分布的光学元件称为光栅。 特点：1）精度高，0.5—3μm/m（3m内）； 2）量程大，分辨力高达0.1μm； 3）可实现动态测量； 4）具有较强的抗干扰能力。 测量领域：主要是几何量（线位移和角位移）测量。其它包括振动、速度、应力、应变等。 光栅的外形及结构 莫尔条纹演示 莫尔条纹光学放大作用举例 圆光栅进行角度测量 2.光栅的光路（1）透射式光路 透射式光栅 透射式圆光栅 （2）反射式光路 反射式光栅 (2)辨向原理及电路 P151 如果传感器只安装一套光电元件，则在实际应用中，无论光栅作正向移动还是反向移动，光敏元件都产生相同的正弦信号，无法分辨移动方向。如果能够在物体正向移动时，将得到的脉冲数累加，而物体反向移动时就从已累加的脉冲数中减去反向移动所得的脉冲数，这样就能得到正确的测量结果。完成这样一个辨向任务的电路就是辨向电路。 为了辨别光栅的移动方向，可在相隔1/4条纹间的位置上安装两只光敏元件，这两只光敏元件输出信号U1、U2的相位差为π/2，可以根据它们超前/滞后的相位关系判别出指示光栅的移动方向。 辨向电路 （3）细分技术 P149 目的：精密测量中，为测量比一般栅距更小的位移量。即提高测量的分辨力。 思路1：使光栅具有很高的刻线密度。 如果仅以光栅的栅距作其分辨单位，只能读到整数莫尔条纹；倘若要读出位移为0.1μm，势必要求每毫米刻线1万条，这是目前工艺水平无法实现的。 思路2：细分技术 在莫尔条纹变化一周期时，不只输出一个脉冲，而是输出若干个脉冲（一般是4个），以提高分辨力。 措施：电子细分 细分电路能在不增加光栅刻线数（线数越多，成本越昂贵）的情况下提高光栅的分辨力 三、感应同步器 感应同步器结构 工作原理：感应同步器是利用电磁感应定律把线位移和角位移转换成电信号的传感器。 类型：根据用途，感应同步器分为直线式和旋转式两种，分别用于测量线位移和角位移。 特点：感应同步器精度较高，对环境要求低，可测大位移，工作可靠，抗干扰能力强，维护简单，寿命长，常用于数控机床和大型测量仪器测量位移。 感应同步器的基本结构：利用印刷电路板的生产工艺，用覆铜板制成节距T(