[工学]第2章 电子显微镜技术.ppt

第2章 电子显微镜技术;本章主要内容;2.1 显微观测技术的发展历史简介;放大镜;显微镜;19世纪，高质量消色差浸液物镜的出现，使显微镜观察微细结构的能力大为提高。 1827年阿米奇第一个采用了浸液物镜。 19世纪70年代，德国人阿贝奠定了显微镜成像的古典理论基础。 这些都促进了显微镜制造和显微观察技术的迅速发展，并为19世纪后半叶包括科赫、巴斯德等在内的生物学家和医学家发现细菌和微生物提供了有力的工具。;1850年出现了偏光显微术； 1893年出现了干涉显微术； 1935年荷兰物理学家泽尔尼克创造了相衬显微术，他为此在1953年获得了诺贝尔物理学奖。 　　古典的光学显微镜只是光学元件和精密机械元件的组合，它以人眼作为接收器来观察放大的像。 后来在显微镜中加入了摄影装置，以感光胶片作为可以记录和存储的接收器。 现代又普遍采用光电元件、电视摄象管和电荷耦合器等作为显微镜的接收器，配以微型电子计算机后构成完整的图象信息采集和处理系统。 ;物体上的光点通过显微镜成像时，在象平面上得到的是一个中心最亮、周围常有明暗相间同心圆环的圆斑，即埃利（Airy）斑。若样品上有两个光点A、B通过显微镜成像，在象平面上会产生两个埃利斑A′、B′。;由衍射效应所决定的分辨率在理论上可以采用Rayleigh公式计算： ;2.2 电子波，电子透镜与电子光学;如果加速电压很高，使电子具有极高的速度，则必须经过相对论校正，此时 ;静电透镜 ;磁透镜 ;一种带有铁壳的电磁透镜示意图。导线外围的磁力线都在铁壳中通过，由于在软磁壳的内侧开有一道环状的窄缝，可以减小磁场的广延度，使大量磁力线集中在缝隙附近的狭小区域内，增强了磁场的强度。;光学透镜成像时，物距L1、象距L2、焦距 f 三者之间满足下述关系式：; 即使忽略了电子的衍射效应对成像的影响，电磁透镜也不能把一个理想的物点聚焦成一个理想的像点。 电磁透镜的像差分为几何像差和色差两类。几何像差是因为电磁透镜几何形状上的缺陷造成的，主要有球差和像散；色差是电子波的波长或能量发生一定幅度的改变引起的。;球差是由于磁透镜的中心区域和边缘区域对电子的折射能力不同造成的，离透镜主轴较远的电子（远轴电子）比主轴附近的电子（近轴电子）折射能力强，从而形成了球差。球差大小表示为;像散 ;色差是由于入射电子波的波长或能量的非单一性造成的。如果入射电子能量出现一定的差别，能量大的电子在距透镜光心较远的地方聚焦，而能量较低的电子在距光心较近的地方聚焦，由此造成了一个焦距差。 色差的大小△rC值可通过下式计算：;分辨率是显微镜最重要的性能指标，它是由衍射效应和象差综合影响的结果。对于光学玻璃透镜，象差可以采用凸透镜和凹透镜的组合或设计特殊形状的折射面来矫正，使之减至相对于衍射效应来说可以忽略的程度，所以它的分辨率主要取决于光的衍射效应。要提高光学显微镜的分辨率，应尽可能地采用大的孔径半角。通常光学显微镜成像时，孔径半角可以加大到70°以上。 电磁透镜则不同，它总是会聚的透镜，至今还未找到矫正球差的有效方法，所以球差也是限制透射电子显微镜分辨率的主要因素。考虑到衍射效应对分辨率的影响，要求孔径半角越大越好；而为减小球差，则要求采用小的孔径半角。为解决这个矛盾，通常令△r0和△rS相等，求出的α是兼顾衍射效应和球差的最佳孔径半角，即 ;电磁透镜的景深和焦长 ;透镜的焦长是指固定样品的条件下（物距不变），像平面沿透镜主轴移动时仍能保证物像清晰的距离范围。图中的像平面Ⅰ和Ⅱ之间的距离就是焦长DL：;从计算景深和焦长的公式还可以看出，随着孔径半角α的减小，Df和DL都会变大，因此，在电磁透镜中插入一个直径较小的光阑时，可使景深和焦长明显变大。 ;2.3 透射电子显微镜;（3）透射电镜的物镜和投影镜（相当于目镜)之间装有一个中间镜，中间镜的引入不仅可以调节放大倍数，而且可以进行电子衍射操作； （4）透射电镜中电子束形成的像只能在荧光屏上才能显示出来，而光学显微镜中可见光形成的象是在毛玻璃或白色屏幕上显示出来。 （5）为使电子能自由运动，不受与气体分子碰撞的影响，电子显微镜镜筒内必须保持很高的真空。 ;透射电子显微镜由电子光学系统、电源与控制系统及真空系统三部分组成。 电子光学系统通常称镜筒，是透射电子显微镜的核心。它分为三部分，即照明系统、成像系统和观察记录系统。。 ;照明系统主要由电子枪、聚光镜、电子束平移和倾斜装置组成。其作用是提供一束亮度高、照明孔径角小、平行度好、束流稳定的照明源。为满足明场和暗场成像要求，照明束可在2～3o范围内倾斜。;聚光镜用来会聚电子枪射出的电子束，减小样品被照射面积，调节照明强度、孔径角和光斑大小。现在高性能的电子显微镜一般都采用双聚光镜系统。;二、成像系统 成像系统主要由物镜、中