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压电式传感器 压电式传感器 Piezoelectric sensor 压电式传感器Piezoelectric sensor 压电传感器是以具有压电效应的压电器件为核心组成的传感器。 压电效应具有自发性和可逆性，压电器件是一种典型的双向有源传感器。 主要内容 1 压电式传感器工作原理 2 等效电路及测量电路 3 压电式传感器的应用 1 压电式传感器工作原理Principle of piezoelectric sensor 压电效应 压电材料 压电效应Piezoelectric effect 1）压电效应：某些物质当受到外力作用时，不仅几何尺寸发生变化，而且内部极化，表面有电荷出现，形成电场；当外力消失时，材料重新恢复到原来状态，这种效应称为正压电效应，简称压电效应。 石英晶体的压电效应演示 当力的方向改变时，电荷的极性随之改变，输出电压的频率与动态力的频率相同；当动态力变为静态力时，电荷将由于表面漏电而很快泄漏、消失。 压电效应Piezoelectric effect 2）逆压电效应(Reverse piezoelectric effect)：由于外电场作用导致物体的机械变形现象，称为逆压电效应，又称电致伸缩效应。 压电材料Piezoelectric material 压电材料：具有压电性的电介质。 主要参数： 压电常数(piezoelectricity constant)：衡量材料压电效应强弱的参数，直接关系到压电输出灵敏度。 弹性常数(elasticity constant)：材料的弹性常数（刚度）决定着压电器件的固有频率和动态特性。 介电常数(dielectric constant)：固有电容与介电常数有关，而固有电容又影响着压电传感器的频率下限。 （续）主要参数： 机电耦合系数(machine-electrical coupling coefficient)：在压电效应中，转换输出的能量（如电能）与输入的能量（如机械能）之比的平方根。它是衡量压电材料机电能量转换效率的一个重要参数。 电阻(resistance)：压电材料的绝缘电阻将减少电荷泄漏，从而改善压电传感器的低频特性。 居里点(curie point)：压电材料开始丧失压电性的温度。 压电材料的分类： 压电晶体（piezoelectric crystal，单晶）：压电石英晶体和其他压电单晶。 压电陶瓷（piezoelectric ceramics，多晶半导瓷） 新型压电材料：压电半导体和高分子压电材料。 压电晶体 Piezoelectric crystal 具有压电性的单晶体统称为压电晶体。石英晶体是最典型而常用的压电晶体。 外形： 压电陶瓷 Piezoelectric ceramics 压电陶瓷的极化处理 压电陶瓷是一种经极化处理后的人工多晶铁电体。要使其具有压电性，必须作极化处理。 极化处理（polarization） ：在一定温度下对材料施加强直流电场，迫使“电筹”趋向外电场方向作规则排列；极化电场去除后，趋向电筹基本保持不变，形成很强的剩余极化，从而呈现压电性。 性能特点： 压电常数大，灵敏度高。 制造工艺成熟，成形工艺性也好，成本低廉，利于广泛应用。 具有热释电性。 新型压电材料 压电半导体（piezoelectric semiconductor）：其显著特点是：既具有压电特性，又具有半导体特性。 有机高分子压电材料 合成高分子聚合物：质轻柔软，抗拉强度较高，蠕变小，耐冲击，热释电性和稳定相较好，便于批量生产和大面积使用。 高分化合物掺杂压电陶瓷的高分子压电薄膜：保持了高分子压电薄膜的柔软性，又具有较高的压电性和机电耦合系数。 2 等效电路和测量电路Equivalent circuit and measurement circuit 等效电路 测量电路 等效电路Equivalent circuit 压电器件实际上是一个电荷发生器，也可视为一个电容器。 （1）当需要输出电荷时，压电器件可等效成一个与电容并联的电荷源。 （2）当需要输出电压时，压电器件可等效成一个与电容串联的电压源。 测量电路Measurement circuit 压电器件的弱点及相应的措施： 高阻抗：进行前置阻抗变换 小功率：进行前置放大 前置放大器的两种形式： 电压放大器 电荷放大器 以上两种放大器必须具备两种功能：信号放大(signal amplifying)和阻抗匹配(impedance matching)。 1）电压放大器Voltage amplifier 电压放大器又称阻抗变换器，它的主要作用是把压电器件的高输出阻抗变换为传感器的低输出阻抗，并保持输出电压与输入电压成正比。 低频特性：被测频率愈低，电压灵敏度愈偏离理想情况，动态误差