[自然科学]第十五讲现代显微分析技术.pptVIP

* * 当针尖或样品扫描时，同距离有关的针尖与样品间的相互作用力就会引起微悬臂发生变形，用一束激光照射到微悬臂的背面，微悬臂将激光束反射到一个光电检测器。检测器不同相限接收到激光的强度差值同微悬臂的变形量会形成一定的比例关系。通过检测电压对样品扫描位置的变化，就可以得到样品表面的形貌。 * * 提起显微镜，大家第一能想到的肯定是上图的照片。这是一台光学显微镜，但是现在的显微分析，用这样的显微镜已经远远达不到要求了。 * * * 可以根据材料的外部形态推断其物理化学性质 * * * * * * * * * * 伯克利的微镜阵列SEM照片 * * * * * * 二次电子和背散射电子可以同用一个探测器探测 * * * * * * * * 伯克利的微镜阵列SEM照片 * * 隧道击穿后会产生隧道电流，可以通过探测隧道电流获得表面形貌 * * 硅原子在高温下融化，降温后可形成右上角的结构。 * * 目前具有原子分辨率的科学仪器主要有三种：透射电子显微镜(TEM)，场离子显微镜(FIM)和STM。 ? TEM研究的是物体的体性质； FIM只能研究可制备程极细针尖的固体样品表面原子，因此可研究的样品种类有限。 ? STM利用电子在针尖和样品间的隧道效应产生的隧道电流，达到了原子分辨率。 * 世界上第1台扫描隧道显微镜 * * * 扫描隧道显微镜下的由单个原子构成的“IBM”字样 扫描隧道显微镜下的由单个原子排成的环 1-1、扫描隧道显微镜的特点 具有原子级高分辨率，分辨率横向0.1nm、纵向0.01nm。 可实时地得到在实空间中表面的三维图象。 可观察单个原子层的局部表面结构。 * 可在真空、大气、等不同环境下工作，甚至可将样品浸在溶液中，其工作温度可以在mK到1100K范围，并且探测过程对样品无损伤。 通过针尖与样品间的电学和力学作用，可以进行样品表面的原子操纵或纳米加工，构造所需的纳米结构。 * 1-1、扫描隧道显微镜的特点 * 1-2、 扫描隧道显微镜的工作原理 利用电子隧穿效应 * * 1-3、结构组成 1、针尖 2、压电扫描器 3、信息处理 * 1-4、分辨率等性能 影响仪器分辨率和图像质量的因素： 对针尖的要求：具有高的弯曲共振频率、针尖的尖端很尖(最好尖端只有一个原子)、针尖的化学纯度高； 压电陶瓷的精度要足够高； 减震系统的减震效果要好，可采用各种减震系统的综合使用； 电子学控制系统的采集和反馈速度和质量； 样品的导电性对图像也有一定的影响。 * * 金属、半导体表面的原子结构 1-5、STM应用 金膜表面的原子团簇图像扫描 金膜表面局域原子结构像扫描 * 1-5、STM应用 在超高真空中沉积样品到基底表面，可以研究样品在基底的成核、生长以及可控的样品表面吸附过程。 * 可实现对原子操纵 1-5、STM应用 中科院化学所科技人员利用纳米加工技术在石墨表面通过搬迁碳原子而绘制出的世界上最小的中国地图 * 高分辨显微仪器主要特点 仪器 分辨率 工作环境 工作温度 对样品 破坏程度 检测深度 SEM 横向：1nm 纵向：低 高真空/ 低真空 室温/低温/高温 小 1μm TEM 横向：0.1nm 纵向：无 高真空 室温/低温/高温 中 100nm FIM 横向：0.2nm 纵向：无 超高真空 30~80K 大 1个原子层 STM 横向：0.1nm 纵向：.01nm 真空/大气/溶液 室温/低温/高温 无 1~2原子层 * 2、原子力显微镜 原子力显微镜：简称AFM Atomic Force Microscope 使用一端固定，另一端装有针尖的弹性微悬臂来检测样品表面形貌和其它表面性质的方法。 * * * 探针 * * * * AFM的优缺点 能提供真正的三维照片(SEM只能提供二维) 不需要对样品进行任何处理(SEM以及STM需要进行导电性处理) 可以在任何环境下使用(不需要真空) 成像范围小，速度慢 针尖易磨钝受污染（磨损无法修复；污染清洗困难） * * 课堂小结 掌握： 1、光学显微镜的局限性在哪里？ 2、透射电子显微镜有哪些特点？ 3、扫描电子显微镜 有哪些特点？ 4、能实现原子操作的显微方法是？ 5、具有原子分辨率的显微镜方法有哪些？ 6、原子力显微镜的优缺点？ 了解： 1.透射电子显微镜、扫描电子显微镜、扫描隧道显微镜、原子力显微镜的工作原理 * Thanks! * 说起显微分析技术，就要从IC制造工艺谈起。举个简单的工艺流程的离子 * 失效分析既要分析失效模式，又要分析失效机理 * 目前电子元器件的失效分析已经形成一个产业，有专门的做失效分析的公司。 * * * * * 透镜的分辨本领 δ =λ/