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[工学]精密和超精密加工技术-第一章

粱延德 大连理工大学机械学院教授 大连理工大学工程训练中心主任 大连理工大学机械学院中心实验室主任 大连理工大学机械创新中心主任 大连理工大学金工课程教学负责人 精密与超精密加工技术 第一章 绪 论 精密加工与非传统加工技术 第一章 绪 论 1. 精密加工概念 1.1 加工精度 ——加工对象的实测几何参数相对理想几何参数的符合程度 1. 精密加工概念 1. 精密加工概念 1.2 加工误差 加工误差——加工对象的实测几何参数相对理想几何参数的偏离程度 加工精度通过加工误差来度量 1.2.1 系统误差(systematic error) 常值性系统误差——相同条件下,多次测量时,大小、方向都不变的误差 例如:仪器、衡器、量具的对零误差。 变值性系统误差——相同条件下,多次测量时,大小、方向有规律变化的误差 例如:加工过程中因温度变化引起的逐渐变化的误差。 理论上,系统误差可以被消除。 1.2.2 随机误差(random error、accidental error) 相同条件下,多次测量时,大小、方向都变化的误差 例如:加工过程中因为不规则振动、温度波动或材料不均匀等原因引起的误差。 理论上,随机误差不能够被消除。运用数理统计与概率分析方法可以评定随机误差的影响程度,并在一定程度上减小随机误差的影响。 随机误差一般表现为正态分布 随机误差的一般特性 【1】小的随机误差出现的概率大,大的随机误差出现的概率小; 【2】绝对值相等的正负随机误差出现的概率相等(对称性或相消性) 【3】随机误差分布范围有限性 随机误差一般表现为正态分布 1.2.3 粗大误差(parasitic error) ——非正常原因导致的大值误差 在误差分析时,应首先将粗大误差剔除。 1. 精密加工概念 加工误差的数学表达 1.3 加工误差测定的基本原则 1.3.1 过程稳定性原则 十分之一原则: 测量或加工系统的准确度应不大于工件所要求精度的1/10(比工件所要求的精度高一个数量级) 三分之一原则: 测量或加工系统的精密度(均方差σ)应不大于工件所要求精密度的1/3 200年的人类社会工业化历史 : 昨天的精密加工——今天的普通加工 目前: 加工精度 ≥1μm , Ra ≥0.2μm ——普通加工 加工精度 0.1~1μm , Ra 0.02~0.1μm ——精密加工 加工精度 ≤0.1μm , Ra ≤ 0.01μm ——超精密加工 目前标志性的精密加工技术: 加工精度 ≤ 0.01μm 的圆度加工技术 0.01μm 级 的加工尺寸精度技术 0.01~0.001μm 级 的精密位移技术 0.01μm 级 的主轴回转精度技术 0.1μm/1m的直线度加工技术 0.1角秒级的分度技术 0.001μm 级的切削加工技术 精密和超精密加工技术 第二章 误差理论基础 1.1 误差传递定律 数学推导:(略) 应用: 解算工艺尺寸链的基础 1.2 误差的合成 ——用于有多项误差存在时 系统误差按代数和合成,若不知符号则按绝对值合成 随即误差按方根法合成 未知的各种误差(包括系统误差)按随机误差处理 1. 误差的传递与合成 1. 误差的传递与合成 1. 误差的传递与合成 1. 误差的传递与合成 1. 误差的传递与合成 2. 原始误差的消除与迟钝化 把已有的原始误差对输出误差的影响消除或减小到允许程度以内的方法称为“原始误差的消除”或“原始误差的迟钝化” 引起工件加工误差(输出误差)的原始误差: 前道工序带来的加工误差 ——输入误差 机床自身的误差 ——内部误差 外来振动、温度变化等 ——外部误差 2. 原始误差的消除与迟钝化 例如:悬臂簧片机构,若在A点输入位移,则在B点可以得到较 高精度的位移输出 * 精密加工技术-LYD * 梁延德 大连理工大学 梁延德 大连理工大学 机械加工精度 尺寸精度 形状精度 位置精度 x a)精密度高 b)正确度高 c)精确度高 机械加工误差 系统误差 随机误差 粗大误差 常值性系统误差 变值性系统误差 2. 精密加工概念 1. 精密加工概

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