弱碱性条件下紫铜化学抛光新工艺-中国表面活性剂网.PDF

维普资讯 第 19卷 第5期 腐蚀科学与防护技术 Vo1．19No．5 2007年9月 CORROSION SCIENCEAND PROTECTION TECHNOLOGY Sep．2007 弱碱性条件下紫铜化学抛光新工艺 井涛，张忠诚，李广武，赵芳 山东大学 化学与化工学院，济南250061 摘要 ：开发出了弱碱性溶液中紫铜化学抛光新工艺，确定了抛光液中的光亮剂(包括缓蚀剂和表面活性剂)．经过一 系列正交实验 ，获得了最佳工艺条件 ，并分析了影响抛光效果的各种因素．该工艺抛光速度快、腐蚀性低 、环境污染 小 、成本低． 关键词：紫铜；弱碱性溶液 ；光亮剂；缓蚀剂；表面活性剂 中图分类号：TG175．3 文献标识码：A 文章编号：1002-6495(2007)05-0367-04 A NEW TECHNoLoGY FoR CHEM ICAL PoLISHD G oFCoPPER IN W EAK ALKALINE SoLUTIoN JING Tao，ZHANGZhong-cheng，LIGuang—WU，ZHAOFang SchoolofChemistryandChemicalEngineering，Shandong University，hart250061 Abstract：Anewtechnologyforchemicalpolishingofcopperinweakalkalinesolutionhasbeendeveloped andabrightener(containingcorrosioninhibitorandsurfactant)hasbeenfoundout．Theprocessparame- tershavebeenoptimizedthrough theorthogonal trial，each influencefactorhasbeenanalyzed．Thenew technoloyg hasadvantagesoffastpolishingrate，low corrosionrate，lessenvironmentalpollutionand low cost． Keywords：copper；weakalkalinesolutionIbrightener；c0rr0si0ninhibitor；surfactant 铜及铜合金以其优 良的导电、导热性能和塑性及 良好的耐 基于以上原因，我们在总结前人成功经验的基础上，参 腐蚀性广泛用于仪器仪表、日用五金、工艺装饰品、标牌及机械 照化学机械抛光 (CMP) 。 的相关知识，经过一系列的试 配件等行业．为了提高铜及铜合金的装饰效果和综合I生能，人们 验，总结出一种新型弱碱性抛光液，即NH，．H：OK· Fe 普遍采用化学抛光，化学抛光具有操作简单、节能、适用复杂件 (CN)6]体系．在 NH3．H：O存在的溶液中，K3[Fe(CN)]作 的处理，生产效率高等特点，因而倍受人们的青睐…． 为氧化剂与Cu发生反应． 铜及铜合金的化学抛光 (也称为光亮酸洗)在工业生产 即：cu+[Fe(cN)6] +2NH3[cu(NH3)2] +[Fe 中已得到广泛应用．目前在生产上应用的化学抛光液按氧化 (CN)]一 剂来分类主要有以下三大类 (同时混用两种氧化剂的除 使用这种抛光液抛光所需时间短 ，表面光滑、镜面效果 外)：1)硝酸及其盐系列，包括 HNO3一H：SO一HC1，HNO一