概述微机电系统和晶体振荡器最新发展及其对频率控制产业的影响.PDF

概述：微机电系统和晶体振荡器最新发展 及其对频率控制产业的影响 C. S. Lam 文 柳 建 松 译 宁波大学压电器件技术实验室 2010 年3 月 概述：微机电系统和晶体振荡器最新发展及其对频率控制产业的影响 概述:微机电系统和晶体振荡器最新发展 及其对频率控制产业的影响 摘 要 长久以来，在消费市场、商业、工业、以及军事产品中，由于石英晶体振荡器的 高Q 和温度稳定性的特点，其是重要的计时资源。自2000-2001 年期间 “.COM” 市场低迷以来，石英晶体和晶体振荡器每年的增长率稳定在4-10%，2008 市场总 额甚至超过41 亿美元。在过去的十年间，石英晶体和晶体振荡器工业在小型化、 高性能、低成本方面取得了开拓性进步。由于这些元件独特的制作以及对封装的 高标准要求，石英晶体和晶体振荡器很难或者说不可能兼容到以半导体硅为载体 的IC 电路平台上。近来，全硅微机电谐振器和振荡器强大的市场需求再次激起了 取代石英晶体技术的极大兴趣，再次开拓了电路计时资源的广阔前景。基于2006 年的综述性文献 [1]，作者论述了硅的微机电振荡器和石英晶体振荡器在过去五年 间的发展以及对其在频率控制产品工业的激烈竞争中所面对的挑战。基于关于全 硅微机电谐振器和石英晶体振荡器技术发展信息的充足性和可用性，本论文更多 论述了市场和商业方面的信息，同时也讨论了压电启动式硅微机电谐振器和振荡 器以及全硅振荡器的最新发展情况。 1 介绍 长久以来，在消费市场、商业、工业、以及军事产品中，由于石英晶体振荡器的高 Q 和温度稳定性的性质，其是重要的计时来源。自 2000-2001 年期间“.COM”市场低 迷以来，石英晶体和晶体振荡器每年的增长率稳定在4-10%，2008 市场总额甚至超过了 41 亿美元。石英晶体和晶体振荡器 (一般情况下其作为压电频率控制元件) 可以在我们 周围所有的便携式电子产品中看到，最好的便携式例子就是手机。之前，典型的全球定 位系统 (GSM) 手机有四个不同的压电频率控制元件——射频声表面波滤波器 (900 MHz 到 2 GHz 的用钽酸锂晶体或铌酸锂作为压电材料) ，它们在天线和收发器芯片间 作为发射和接受滤波器。在频率要求较低的情况下一般用石英声表面波滤波器 (SAW, 50 MHz 到400 MHz 的主要用石英作为压电材料)；温度补偿晶体振荡器 (Temperature- - 1 - 概述：微机电系统和晶体振荡器最新发展及其对频率控制产业的影响 compensated Crystal Oscillator, TCXO，其频率在13-26 MHz，压电材料也为石英晶体) 主要在收发合成器的频道化时作为计时参考而被使用；音叉 (频率为32.768 KHz，压电 材料仍为石英晶体) 在基带范围 (215=32768) 作为备用计时器。 之后，直接转换技术的 成功发展使得在许多 GSM 手机中普遍应用的中频声表面波滤波器退出了市场 (图 1)。 几年前，内建单片数字补偿晶体振荡器 (Digitally-compensated Crystal Oscillator, DCXO) 的GSM 收发器芯片的出现使得收发器芯片不再需要温度补偿晶体振荡器 (TCXO) [2]。 然而，在移动电话收发器晶片外部的石英晶体仍有着不可替代的地位(图2) 。 图1 一般双频手机 (GSM900/DCS1800) 的压电式频率控制元件 图2 含DCXO 的GSM 接收器晶片组 - 2 - 概述：微机电系