[信息与通信]单晶操作规范培训《山西太能科技》.ppt

11、石墨件损坏 事故介绍与分析----主要指在拆装炉的过程中石墨件碰到异物使其损坏，不能使用。 应对措施----在拆装炉时首先要确保高温手套处于安全的状态下；在拿石墨件时要轻拿轻放，能两个人抬的千万不要一个做；而且要看清脚下有无防碍工作的东西，若有及时清理掉。 二、非人为事故 四瓣埚裂 单晶棒掉落 漏硅 停电 停水 1、三瓣埚裂 事故介绍与分析----在炉子工作的过程中，开埚转，液面严重抖动。在排除温度振荡和机械振荡、石英坩埚挂边碰导流筒等因素下可以确定是三瓣坩锅破裂。 应对措施----一般关闭埚升，手动拉，做拉多晶处理。 2、单晶棒掉落 事故介绍与分析----单晶棒掉落一般在等径中掉落或是在停炉后掉落。一般是由于机械振动、细颈/原籽晶断裂、液面结晶等原因引起。 应对措施----尽可能排除机械振动因素；安装籽晶时要检察好；引晶时必须出光圈、在快到结尾时必须注意炉内液面情况；尾部吊料时，一定要经常观察炉内变化，液面结晶时要加温手动拉，若结晶很快，直接提断晶体，停炉！ 3、漏硅 事故介绍与分析----在炉子工作过程中硅液漏入炉体，导致炉体打火、石墨件损坏等情况。一般由于石英坩锅破裂引起。 应对措施----在装料前检查好石英坩锅，不能用的绝对不用；化料埚位的变化一定要按工艺要求来做；装料时不能用硬物砸破石英坩锅或使其有内伤。 4、停电 事故介绍与分析----在生产的过程中突然停电，停电所造成的直接 后果是炉子停水、炉子停止工作、真空泵停止工作，处理不好会造成很严重的后果。 应对措施----停电分为好几种情况，不管哪几种情况，我们首先要做的是关闭氩气，手动关闭真空泵球阀阀门。如过停电时间比较短（一般以5分钟为界），我们可以继续我们的操作：先打开真空泵，再打开主室泵球阀，开氩气，开加热开关，加热到80-90KW。如果停电时间较长我们则要分几种情况来解决：1、空烧时停电，等来电继续空烧；2、高温化料阶段和引晶放肩阶段，停炉，待结晶后手动升石英坩埚至最高限位；3、等径阶段，手动降低坩埚使晶棒脱离液面，结晶后升坩埚至最高限位4、收尾阶段，手动降低坩埚使晶棒脱离液面，停炉冷却。 5、停水 事故介绍与分析----停 水一般与停电联系在一 起，停水使比较麻烦的，一旦停水处理不好，会造成单晶炉烧得严重变形，给公司带来严重的经济损失。 应对措施----一般来讲，停电和停水是联系在一起的，停电伴随着停水。一旦停电，我们要立即找机修人员启动发电机；如果发电机启动不了的情况，我们只好拿盆、桶等舀水给炉子“冲凉”了。 6、石英坩埚 在拉晶过程中出现的现象及分析： ⑴石英坩埚析晶。 现象--石英坩埚在高温下具有趋向变成二氧化硅的晶体（方石英）。这个过程称为再结晶，也称为“失透”，通常也称为“析晶”。 通常发生在其表层，严重的析晶对拉单晶的影响很大，石英坩埚内壁发生析晶时有可能破坏坩埚内壁原有的涂层，这将导致涂层下面的气泡层和熔硅发生反应，造成部分颗粒状氧化硅进入熔硅内，使得正在生长中的晶体结构发生变异而无法正常长晶。析晶将减薄石英坩埚原有的厚度，降低了坩埚的强度容易引起石英坩埚的变形。 原因--①石英坩埚受到沾污，在所有石英坩埚的沾污中，碱金属离子钾（K）钠（Na）锂（Li）和碱土金属离子钙（Ca）镁（Mg）这些离子的存在是石英坩埚产生析晶的主要因素。②在操作过程中，因操作方法不当也会产生析晶如在防止石英坩埚和装填硅料的过程中，带入的汗水、口水、油污、尘埃等。③ 新的石墨坩埚未经彻底煅烧或受到沾污就投入使用是造成石英坩埚外层析晶的主要原因。④ 用于拉晶的原料纯度低，所含杂质太多或清洗工艺存在问题。⑤熔料时温度过高，也将加重析晶的程度。⑥石英坩埚的生产，清洗，包装过程中受到沾污 解决方法--① 石英坩埚的生产厂商要保证其生产的坩埚从用料到生产的各个环节都符合质量要求。②在单晶生产的整个过程中应严格按照工艺规程认真操作。③ 拉晶所用的原料纯度一定要符合生产要求，如果原料本身所含杂质较多，在溶料过程中也会造成析晶。尤其是碱金属离子的存在，将会降低析晶温度200 ～300℃. ④原料的清洗一定要符合工艺要求，进过酸或碱处理的原料如果未将酸碱残液冲洗彻底，易造成析晶。⑤新的石墨器件，如石墨坩埚因含有一定的灰粉和其它杂质，在投入使用前须经过彻底的高温煅烧才能使用。⑥熔料时应选用合适的熔料温度以减少析晶或降低析晶的程度 ⑵石英坩埚变形 现象及影响--①石英坩埚变形后，在拉晶过程中随着埚位的上升，石英坩埚变形的凸出部分将碰撞到导流筒，影响或无法继续正常的拉晶。②溶料中发生挂边造成的石英坩埚变形，坩埚上口向内凸出过多，当溶完料埚位上升到正常引晶位置时，已碰撞到导流筒，这将直接导致不能拉晶的严重后果。③溶料中发生鼓包且鼓包较大时，在拉晶过程中