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- 2018-02-18 发布于天津
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补偿压电陶瓷迟滞和蠕变的逆控制算法-光学精密工程
第 卷 第 期 光学 精密工程
１４ ６
Ｖｏｌ．１４ Ｎｏ．６
Ｏ ｔｉｃｓａｎｄＰｒｅｃｉｓｉｏｎＥｎｉｎｅｅｒｉｎ
年 月 ｐ ｇ ｇ
２００６ １２ Ｄｅｃ．２００６
文章编号 （ ）
１００４９２４Ｘ２００６０６１０３２０９
补偿
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