[]6_纳米加工—电子束曝光N.pdf

MEMS与纳米技术课程之纳米技术VII 纳 米 加 工 —— 电子束曝光 王海容 whairong@mail.xjtu.edu.cn 西安交通大学精密工程研究所 Institute of Precision Engineering, XJTU MEMS与纳米技术课程之纳米技术VII 纳米材料 纳米材料的定义和分类 纳米材料结构 纳米材料的特性 纳米材料制备 纳米材料应用 纳米加工 电子束曝光 聚焦离子束加工技术 纳米测量 电子束曝光 纳米超精密加工 透射电子显微镜 EBL 纳米压印 扫描电子显微镜 扫描隧道显微镜 (EBM) X射线衍射分析 原子力显微镜 扫描探针显微镜 … … 西安交通大学精密工程研究所 Institute of Precision Engineering, Xian Jiaotong University MEMS与纳米技术课程之纳米技术VII 纳米技术: 依赖于纳米尺度的功能结构 纳米技术: 依赖于纳米尺度的功能结构 与器件，实现功能结构纳米化的基础是先 与器件，实现功能结构纳米化的基础是先 进的纳米加工技术。 进的纳米加工技术。 纳米加工技术: 从结构的形成方式可分为两种： 从结构的形成方式可分为两种： 纳米加工技术: Top-down （自上而下）和Bottom-up （自底层制 Top-down （自上而下）和Bottom-up （自底层制 造）。 造）。 西安交通大学精密工程研究所 Institute of Precision Engineering, Xian Jiaotong University MEMS与纳米技术课程之纳米技术VII Top-Down方法:指从大的物体上去除材料形成需要的 纳米结构; Bottom-up方法:通过物理、化学以及生物等作用，把 小的物体（如原子、分子）拼装形成复杂的结构和系 统。 纳米平面工艺属于Top-Down 的纳米加工方法，而分 子自组装、STM进行的原子搬迁属于Bottom-up方法。 西安交通大学精密工程研究所 I