[信息与通信]LCD制程简介.ppt

黏 著 ACF黏貼 Panel的ACF 黏 貼 FPC的ACF 黏 貼 COG 黏 著 抽 樣 檢 查 FPC Bonding Bonding後 電測檢驗 品檢 封邊 模 組 實 裝 成 品 入 庫 封矽膠 烤 乾 燒機 燒機後 測試 外觀總檢 燒機 老化 OQC 出貨抽檢 光 學 特 性 量 測 甚麼是TFT-LCD ? TFT----薄膜電晶體 Thin Film Transistor LCD----液晶顯示器 Liquid Crystal Display TFT(Array) Thin-Film Transistor LC(Cell) Liquid Crystal Module Array:電晶體 矩形陣列 Cell:顯示單元體 Module:產品模組 CELL MODULE …. + ARRAY + + + 外購 LT1:1100*1300(mm) 鍍膜(sputter,cvd) 上光阻(coater) 光罩(reticle) 顯影(developer) 顯影 液 對準,曝光(stepper) 蝕刻(etch) 去光阻液 stripper 去光阻 酸, 氣體 TFT循環製程圖解 鍍 下 一 層 膜 TI/AL/TI S-I-N TI/AL/TI PASSIVATION 1.鍍上 鈦鋁鈦 合金(GATE) 2.S : SiNx (氮矽化合物,絕緣層) I : α-Si (非結晶矽,通道層) N : N+(歐姆接觸) 3.鍍上鈦鋁鈦合金(source,drain) 4.鍍上 5.鍍上ITO(銦錫氧化物,透明畫素電極) SiNx 保護層及做VIA層 ITO 610 mm 720mm 一個可以顯示出所有顏色的單位稱作: 畫素---PIXEL 一個畫素含有三分割---紅,綠,藍(R,G,B) 每一個分割叫做子畫素(SUB-PIXEL) 畫素 子畫素 白 = 紅 + 綠 + 藍 紫 = 紅 + 藍 黃 = 紅 + 綠 青 = 綠 + 藍 加法系統(混合光) 紅 藍 綠 黃 白 紫 青 減法系統(過濾法-顏料) 紅 藍 綠 黃 黑 青紫 深紅 黑 = 黃 * 青 * 深紅 紅 = 黃 * 深紅 綠 = 黃 * 青 藍 = 深紅 * 青 = + + 白 紅 綠 藍 = * * 黑 深紅 青 黃 APR板 Polyimide配向膜塗覆 淡黃色 800~1200 ? 配 向 絨 布 PI膜配向:基板和 roller成45度角, TFT和CF基板方向差 90 度. Roller高速旋轉時,絨毛上的纖維 會甩立起來,將PI膜刷出紋路 Rubbing的情況,類似於重鋪柏油 馬路之前的刨路機,將路面刨出紋 路. SPACER SPRAY SPACER 灑佈 SPACER是小塑膠球 又稱為“間隙粒子” Spacer SEALANT(框膠,點銀膠) Ag Paste 框膠 COLOR FILTER TFT PI膜 UV膠 TFT基板 大片組合 CF基板 20μm 0.7mm =700μm 氣囊熱壓 大片組合之基板 熱壓機hot pressor 115~200度C 4小時,一 次可壓18~20片壓完後 ,CF和TFT板之間的距 離變成約4.85μm 壓力表 切割裂片 13.3“ 320mm 1.8“ 2.5” 4“ 6.1”~6.8“ 第1代面板:長400mm,寬320mm 400mm 面板範圍 裁餘部份, 拋棄不用 1300 mm 1100mm 19“~21” 23“~26” 32“ 52” 面板範圍 裁餘部份, 拋棄不用 第5代面板:長1300mm,寬1100mm UV膠 (紫外線膠) 紫外 線 TFT CF 之配向共製程 CF 清 洗 TFT 清 洗 分製程 PI預烤 檢查 Inspection PI 烤硬 PI 配向 進料檢驗 清潔基板 PI膜塗覆 撒佈 封膠 組合 對準,定位 貼 合 熱 壓 合 CF 烘烤 CF 框 膠 點 銀 膠 TFT Spacer 撒 佈 Spacer 計 數 注入＆封口 切裂 清洗,急冷 目檢電測 模組廠 切 割 裂 片 檢 查 注入液晶 封 口 LC再配向 磨邊(去掉短路棒 shorting bar) 短路棒 偏光片貼附 上下偏光片濾光角度差90度 TFT玻璃 TFT玻璃 金屬粉末 空