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一、控制与保护装置 1、安全门（Door1—Door7）： 设备配有安全门，它们可以避免外部环境对设备造成的干扰。 2、门开关： 所有的安全门都是由门开关来控制。打开安全门就会通过门开关的控制使设备动作立刻停止。可以通过旋动屏幕下方的Safety Door Bypassed（钥匙）来屏蔽安全门，从而使安全门在打开状态设备动作依然进行。 3、主电源开关： 设备后面的控制柜配有一个主电源开关，它控制着机械手设备的所有供电。 4、紧急停机按钮： 设备配有两个紧急停止按钮，分别处于屏幕下方和机身背面。当设备出现紧急情况时可以按下此按钮，避免造成大的损失。 注：在运行过程中，按下急停按钮可能会使硅片掉落，同时对设备的寿命也会造成不良的影响，所以除紧急情况外，不要按下此按钮。 5、报警装置： 不同的报警指示灯会显示不同的状态，详细信息参考下表： 指示灯 蜂鸣报警 含义 红 持续 持续 错误 红 闪烁 维护 黄 持续 警告/安全门打开 绿 持续 正常操作 绿 闪烁 等待 蓝 闪烁 需要装料或卸料，机器仍然运行 蓝 持续 断续 等待，需要装料 二、设备操作介绍： 操作面板： 操作面板主要由一个触摸屏和其下面的控制按键组成，我们可以通过对操作面板的控制来完成日常的生产。 下面主要对屏幕的不同控制界面进行介绍。 界面1 ：自动控制界面 上方标题栏： 指示 Machine State（机器状态） 显示手动状态或自动状态或错误信息，当出现错误时，会出现红色闪动条。 指示 User Level （使用权限） 使用权限有6个等级，分别为： Level 1:Operator Level 2:Operator Level 3:Technical operator Level 4:Engineer Level 5:Developer Level 6:Administrator 不同的操作会需要不同的使用权限，6个等级除了第一级，其它都需要相应的密码。各个等级密码的修改只有管理员才有权限，也就是必须进入第6级。 指示 Format（版式） 显示硅片的尺寸 左侧输入模块： 按钮 Automatic Mode（自动模式） 点击此按钮，自动模式功能被调用。 按钮 Manual Mode （手动模式） 点击此按钮，手动模式功能被调用。 按钮 Options（选择） 点击此按钮，服务模式功能被调用。 按钮 Administration（管理） 点击此按钮，管理员可以对各等级密码进行管理。 按钮 Machine State （机器状态） 可以调出机器状态页面。 按钮 States（状态） 点击此按钮，可以显示石英舟、装片盒以及装料卸料平台的状态。 按钮 Report（报告） 点击此按钮，可以显示错误记录等信息。 中间显示栏： 指示 Events（事件） 显示最新的事件信息 指示 Progress（进程） 显示进程 指示 Information（信息） 显示进程中的数据信息 输入模块按钮： 按钮 Quick Stop（快速停止） 点击此按钮，设备的所有动作将立刻停止。（注：打开安全门与点击快速停止按钮功能一样） 按钮 Initial Position （初始位置） 点击此按钮，可也对设备进行初始化。（注：初始化会使机械手张开，在进行此操作前一定要确保机械手上没有硅片） 按钮 Special Functions（特殊功能） 点击此按钮，将调出特殊功能页面。 （注：平时操作很少用到此功能） 按钮 Start（开始） 点击此按键，自动模式将会运行。 按钮 Stop（停止） 点击此按键，设备在完成某一进行的动作后将会停止，注意与Quick Stop按键区别。 界面2：特殊功能界面 输入与显示模块： 选项 Every job start has to be acknowledged 选择此选项后，每次工作的开始将需要操作者的允许。 选项 Every job end has to be acknowledged 选择此选项后，每次工作的结束将需要操作者的允许。 按钮 Backwards（退出） 点击此按钮，将回到自动模式页面。 指示 Progress（进程） 显示硅片装载和卸载的百分数进程。 指示 Information（信息） 显示状态信息和请求信息。 界面3：机器状态界面 输入与显示模块： 指示 Actual State（实际状态） 显示机器当前的状态。 选项 Engineering Time（工程时间） 选项 Non-scheduled Time（） 按钮 Backwards（退出