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第十章 气敏传感器 10.1 概述 10.1.1 › 1.产生原因: › 为了确保安全，需对各种可燃性气体、有毒性气体进行检测。目前实用气 体方法很多，其中接触燃烧法和用半导体气敏传感器检测法具有使用方便、 费用低等特点。 › 2.发展过程: 半导体气敏元件是60年代初期研制成功的，最先研制的是SnO薄膜元件。 2 它是利用加热条件下SnO薄膜电阻随接触的可燃性气体浓度增加而下降， 2 实现对可燃性气体检测。 继而又发现在SnO2烧结体中添加Pt或Pd等贵重金属可提高灵敏度。1968年 诞生了商品半导体气敏元件，其后，其它材料的半导体气敏元件也相继投 放市场。 3.常用的气敏元件: SnO半导体气敏元件，目前以TGS型和QM-N5型气敏元件为主. 2 Create PDF with GO2PDF for free, if you wish to remove this line, click here to buy Virtual PDF Printer 1 10.1.2 SnO半导体气敏元件特点 2 › （1）气敏元件阻值随气体浓度变化关系为指数变化关 系。因此，非常适用于微量低浓度气体的检测。 › （2）SnO材料的物理、化学稳定性较好，与其它类型 2 气敏元件 （如接触燃烧式气敏元件）相比，SnO气敏元 2 件寿命长、稳定性好、耐腐蚀性强。 › （3）SnO气敏元件对气体检测是可逆的，而且吸附、 2 脱附时间短，可连续长时间使用。 › （4）元件结构简单，成本低，可靠性较高，机械性能 良好。 › （5）对气体检测不需要复杂的处理设备。可将待检测 气体浓度可通直接转变为电信号,信号处理电路简单。 › 10.1.3SnO的基本性质 2 › 1.SnO物理性质: 2 › SnO是一种白色粉末，密度 2 3 为6.16-7.02g/cm，熔点为 1127℃，在更高温度下才能分 解，沸点高于1900℃的金属气 化物。SnO不溶于水，能溶于 2 热强酸和碱。 › 2.SnO晶体结构: