[工学]x射线的应用.docVIP

X射线的产生和性质 导论 1901???????伦琴 (Roentgen) 发现X射线(1895) 1914???????劳厄（Laue） 晶体的X射线衍射 1915???????布拉格父子 (Bragg) 分析晶体结构 1917 巴克拉 (Barkla) 发现元素的标识X射线 1924???????塞格巴恩 (Siegbahn ) X射线光谱学 1927???????康普顿(Compton等六人) 康普顿效应 1936???????德拜 (Debye) 化学 1946???????马勒 (Muller) 医学 1964???????霍奇金 (Hodgkin) 化学 1979 柯马克和豪森菲尔德（Cormack/Hounsfield） 医学 1981 塞格巴恩(Siegbahn) 物理 X射线产生 固体靶源 X射线管 转靶 焦点和辐射 谱 (Kramer Law) 连续谱 I(E) = P0KZn(E0-E)/E0 I(E) - Intensity E – x-ray energy(Delta= 1eV) W/eV K - constant P0 – incident power (W) Z - target atom number n ( 1 E0 – incident electron energy（KeV） I(E)=BN(Z)F(x)(E0-Ec)m B – Constant F(x) – Target material Cons. Ec – Critical energy 同步辐射 同步辐射 (合肥) 实验大厅 (Hefei) Hefei 电子储存环 800MeV电子储存环 北京同步辐射实验室 (BSRF) BSRF (Beijing) 同步辐射和谱分布 SR辐射的能量和功率 (Larmor formula) (per e-, per run) v – Electron velocity c – Light velocity ( - Magnet radius e – electron charge E – Electron energy m – electron mass In practical units, E - GeV, ( - m, B – kG, Beam, current I – A 总辐射功率 (magnet length L) 功率谱分布 (Integrated to all angle) 实用单位: 功率角分布 ( intgrated to all wavelength) 等离子体源 Fe 等离子体源 Z-压缩气体等离子体源 气体等离子体辐射的X射线谱 几种源的谱比较 X射线的性质 X射线的吸收 Line absorption coefficient Mass absorption coefficient Atom absorption coefficient Mol absorption coefficient Photo absorption section 重要!! 对混合物和化合物 对连续X射线 (/(, ( 和 Z 的关系 - Bragg-Pierce 定律 吸收限和跳跃比 X射线光学 反射光学 平晶 弯晶 多层膜 衍射光学 晶体 波带板 光栅 吸收 吸收片 X射线反射镜 折射率： ( - 折射因子 ( - 衰减因子 反射率： 单晶X射线光学 材料： Si，Ge，? Crystal 形状： 平晶，弯晶，球面柱面，环面，超环面 应用： 单色器，成像 柱面镜 毛细管X射线透镜 X射线波带板 X射线探测器 正比计数器** NaI（Tl）闪烁探测器** Si（Li）探测器** Ge（Li）探测器 Si PIN探测器** Ge PIN探测器** 多（单）丝室 X射线CCD 微多道板 G-M计数管 电离室 胶片，荧光屏 X射线衍射（XRD） Debye 法 同步辐射（SR）XRD装置 （BSRF） 纳米微晶Fe的X射线衍射曲线与理论计算结果的比较 Laue 法 蛋白质的Laue衍射图 扩展的X射线吸收边（EXAFS） XANES：30 – 40eV 光电子多重散射 EXAFS：大于40eV 光电子/散射波干涉 X射线形貌（白光形貌和双晶形貌） X射线形貌图 X射线成像（XRI） 层析术（吸收） 显微术（吸收） 全息术（衍射） 减法造影（吸收） 其它 扫描X射线显微镜装置 X射线显微术实验站 显微图 造影装置 兔耳造影 (注入BaFBr） X射线小角散（XRS） X射线光刻（XRL） SR X射线光刻装置（XRL） X-ray 掩膜（mask） 掩膜 X-ray抗蚀剂（resist） 分类： 光抗蚀剂 X