多晶硅回收岗位操作规程.doc

范围 适用范围 目的 人员要 生产规模 主要设备 主要原辅材料和能源动力消耗 工作环境要求： 工艺原理、工艺流程（图） 工艺原理 回收系统的尾气成分与其相应的性质简介 工艺操作步骤 开车前准备 开车步骤 正常操作 停车步骤 环境运行控制 本岗位存在的环境因素 本岗位需控制的环境因素 运行控制 职业健康安全运行控制 本岗位存在的危险源 本岗位需控制的危险源 、范围 适用范围 本作业指导书规定了还原尾气通过冷却、洗涤、压缩、冷凝、吸收、脱吸、吸附等过程得以充分回收的工艺规范及环境运行和职业健康安全运行等控制要点。 目的 目的是将还原尾气成分进行分离和充分回收、再次利用以达到降低成本，降低物耗，减少环境污染，保障职工职业健康安全。 第二章、资源、术语、标准、规模 人员要求 1、基础知识要求： 上岗人员必须了解本岗位的原料和产品的物理化学性质；了解本岗位生产的基本原理；了解本岗位的安全、职业健康运行规则。 2、技能要求： ⑴、上岗人员必须掌握本岗位的作业程序，严格按作业指导书进行操作； ⑵、上岗人员必须了解本岗位的设备的基本构造及性能并懂得基本维护； 术语 1、吸收：是指利用气体混合物在液体中溶解度的差异而使气体中不同组分分离的操作。 2、再生：吸附剂使用一段时间后，吸附量达到饱和，将吸附剂中的杂质和水份除去使之复活，再次连续使用的过程。 3、吸附：在某些物质的界面上从周围介质中把能够降低界面张力的物质自动地聚集到自己的表面上来，使得这种物质在相表面上的浓度大于相内部的浓度，叫吸附。 4、脱吸（解吸）：将吸收得到的溶质气体从液体中取出来，这种是溶质从溶液里脱离过程成为脱吸（或解吸）。 三、主要原料质量标准 1、氢气（按GB/T7445-1995执行）： H2纯度≥99.999%、O2≤5ppm、CO≤0.5ppm、CO2≤1.5ppm、CH4≤0.55ppm、露点≤－55℃。 2、氮气 3、还原尾气：正常生产下的还原尾气，由还原尾气总管直接输入干法系统主要产品质量标准 1、氢气 回收H2纯度≥99.999%、O2≤5ppm、CO≤0.5ppm、CO2≤1.5ppm、CH4≤0.55ppm、露点≤－55℃； 2、回收HCL质量要求：含量≥90%； 3、氯硅烷回收率 98%； 4、回收氯硅烷的主要杂质含量要求：Fe≤150ppb、Al≤25ppb、B≤3ppb、P≤0.1ppb。 生产规模 每小时（平均）处理3522Nm3/h还原尾气，年处理26.2×106Nm3h还原尾气。 1、生产现场设备管道布局合理，地面、墙壁无油污和水解物； 2、生产现场不允许有跑、冒、漏、滴； 3、废水排放PH值6～7； 4、保持现场照明良好，每日打扫生产现场，保持清洁卫生。 工艺原理、工艺流程（图） 一、工艺原理 1、还原尾气中的氢气、氯化氢、二氯二氢硅、三氯化硅和四氯化硅等成分经尾气冷凝器，尾气换热器和尾气过冷器后其中的二氯二氢硅、三氯化硅和四氯化硅被冷凝下来； 2、不凝的氢气和氯化氢经压缩加压后，氯化氢在高压、低温条件下用氯硅烷作为吸收剂使其溶解在氯硅烷中，其中的氯化氢被吸收。氢气被分离出来； 3、被分离出来的氢气仍含有微量的氯化氢，为了避免氯化氢影响多晶硅的沉积速度。则应将氢气通过吸附塔除去微量的氯化氢。从而获得达到质量要求的纯氢，并储存在氢气罐里供还原工序使用； 4、被氯硅烷所吸收的氯化氢，在升温、降压条件下被解吸出来。解吸出的氯化氢经过两次过冷后，成液体经过汽化成气体后储存在氯化氢罐，送入TCS合成工序。解吸后的氯硅烷则一部分用于吸收塔再循环，另一部分则经冷却后用泵送至分离提纯工序。 二、回收系统的尾气成分与其相应的性质简介 CDI尾气回收的来至还原炉的尾气，包括：氢气、氯化氢、二氯二氢硅、三氯化硅和四氯化硅。每种物质都具有各自的特性并具有各种不同的危害性。 1、氢气：是无毒的、没有气味、无色、但非常易燃的气体。在20℃和1atm的大气压时，氢在空气中易燃极限是4%至74.5%，非常低的能量就能导致燃烧，最小自燃温度是570℃； 2、氯化氢：是无色的、不易燃的、毒性很大的气体、有令人窒息的气味； 3、氯硅烷：二氯二氢硅与三氯化硅是易燃的，自燃温度低、分别是58℃和105℃，气化压力高