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积体电路生产的简介
超大型積體電路技術
超大型積體電路技術
VLSITechniques
VLSITechniques
教師課程筆記
第二章： 積體電路生產的簡介
Chapter2: Introductionto IC Fabrication
超大型積體電路技術教師課程筆記
超大型積體電路技術
這些講義主要是以下列課本為基礎的上課筆記。
Introduction to Semiconductor Manufacturing Technology/ by
Hong Xiao / Prentice Hall (歐亞書局代理)
這些講義都是從課文中截取出來的材料, 但不完全包括課
文中所有的主題。
莊妙如 Chapter 2
2
目標
定義極解釋良率的重要性
描述無塵室的基本佈局圖.
解釋無塵室協議規範的重要性
列出在積體電路製程的四種基本操作方式
列出至少六種在積體電路生產廠房內的製程區間名稱
莊妙如 Chapter 2
3
積體電路生產流程
材料 積體電路生產廠房
金屬化 化學機械 介電質沉 測試
研磨 積
晶圓
加熱 離子佈植與 蝕刻與光 封裝
光阻剝除 阻剝除
製程
光罩
微影製程 最後測試
設計
莊妙如 Chapter 2
4
生產廠房的成本
生產廠房的成本非常高 ，八吋晶圓的生產廠房成本
$1B
無塵室
設備, 每一項工具經常 $1M
材料, 高純度, 超高程度
設施
人員, 訓練和薪酬
莊妙如 Chapter 2
5
2.2 良率
良率決定了一間生產工廠是賺錢或是賠錢。
決定良率的因素有很多，它包括員工、環境、材
料、設備和製程。
積體電路製造廠內的良率工程師(或良率提昇工程師)
就是負責提昇良率。
在積體電路晶片的生產裏有三種不同的良率:
晶圓良率:
晶粒良率：
封裝良率:
莊妙如 Chapter 2
6
良率的定義
晶圓良率(Wafer Yield):
晶圓良率(Wafer Yield):
晶圓在生產過程中會遇到破片或某些製程步驟誤失
導致晶
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