溶胶-凝胶多孔二氧化硅减反膜稳定性研究.pdfVIP

第32卷第6期 中 国 激 光 V01．32．No．6 2005年6月 CHINESEOURNALOFLASERS June，2005 J 文章编号：0258—7025(2005)06—0839一05 溶胶一凝胶多孔二氧化硅减反膜稳定性研究 李海元，唐永兴 (中国科学院上海光学精密机械研究所高功率激光物理国家实验室，上海201800) 摘要 多孔siO，膜层经热处理后，具有很高的激光破坏阈值，但是结构中有许多Si一0H亲水基团，导致光学透过 率受环境相对湿度的影响很大。实验目的是改善膜层内部结构，使膜层结构中的亲水基团转变为疏水基团，提高 膜层的疏水性，增强膜层的透过率稳定性。系统地研究了膜层透过率随时问变化的规律，在氨气和六甲基二硅氮 烷(HMDs)混合气氛下热处理膜层，处理后生成Si一()一si(CH。)。非极性疏水基团，使膜层的疏水性大大提高，因 而膜层的透过率稳定性有大幅度提高。稳定性的提高延长了膜层的寿命。处理后膜层的表面粗糙度良好，均方根 表面粗糙度(RMs)为3．575，平均粗糙度(RA)为2．850，能够满足大型激光器精密化发展的要求。 关键词薄膜；溶胶一凝胶；二氧化硅；减反膜；稳定性；疏水性 中图分类号 0484 文献标识码 A on ofPorousSilicaAntireflectiVe StudyStability CoatingsPrepared Sol—Gel by Processing LIHai—yuan，TANG Yong—xing Pot卫，PrLnser Nnzionnl Insti￡Mte ndFi丸eMechn，lics， t ofoptics High Physics l，nborntor，，Shn扎ghai ThPC^i”P5P 201800，C^inn) AcndPmyo厂SfiP打cPs，S^n”g，l口i Abstract the silicaantireflective(AR) has laser thresh01dafterheat Althoughporous coatinghigh damage treatment，itstransmissioniscorrelatedwithenvironmentrelative dueto Si—OH humiditymany hydrophiIicgroups onthe surface．Theaimofthe is to internal enhancethe coating experimentmodify component， hydrophobic and thetransmissionofthefilms．Inthis performanceimprove stability paper，Si一0一Si(CH3)3non—p01ar onthe surface treatmentofammoniaandHMDS hydrophobic