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超大规模集成电路基础半导体学基础-MOS
超大规模集成电路基础
(半导体学基础-MOS)
傅宇卓
本章大纲
n 半导体学基础
n 二极管
n 三极管
nMOS管
Computer Department of SJTU
2
- -
MOS管
nMOS管概述
n nMOS 自对准制造工艺
n MOS管工作原理
n MOS管的伏安特性
n MOS管的工作区间
n MOS管的电容特征
n MOS管的二级效应
Computer Department of SJTU
3
- -
MOS管概述— — — 特征
n MOS (Metal Oxide Semiconductor type Field
Effective Transistor-MOSTFET)
n 特点
®制造工艺简单
®成品率高
®功耗低、体积小
®输入阻抗高,可利用栅源电容进行动态存储
®N沟MOS较P沟MOS速度快,但工艺复杂
®CMOS输入阻抗更高、没有静态功耗
Computer Department of SJTU
4
- -
N型、P型、耗尽型、增强型
n 用电子做衬底--p型
n 用空穴做衬底--n型
n 无需外加电压即可建立沟道--耗尽型
n 需要外加电压方可建立沟道--增强型
n 电子的迁移率是空穴的2.5倍,因此nMOS
的速度肯定比pMOS快
Computer Department of SJTU
5
- -
MOS管概述— — — — 符号表示
D D
G G
S
S
NMOS Enhancement NMOS Depletion
D D
G
G B
S S
PMOS Enhance
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