四相高压等离子放电电源研制.pdfVIP

应用与实践 ·特种电源 四相高压等离子放电电源研制 吴益善 苏雄涛 (西安兆福 电子有限公司，陕西 西安 710077) 摘 要：根据降压型开关电源、串联谐振的原理和频率调制技术成功制成4okv(v )、0～50kHz-~T调四相等 离子放 电电源，应用于军民用等离子体新技术研究，并取得 了比较理想的效果。 关键词：四相 ；等离子放 电；高压 电源 ADesignofFour-phasePlasmaDischargeH．V PowerSupply WUYishan．SU Xiongtao fXianMeVCo．，Ltd．，Xian710077，China) Abstract：Accordingtothestep—downswitchingpowersupply,seriesresonanceandrfequencymodulation，we successfullydesigna40kV(VP—P)，0~30kHzrfequencyadjustablefour-phaseplasmadischargepowersupply． Thissupplyhasbeenappliedtomilitaryandcivilianresearchonnew plasmatechnologiesanditsperformanceis demonstratedtoberathergood． Keywords：Four-phase；PlasmaDischarge；H．V PowerSupply 中图分类号：TN86 文献标识码：B 文章编号：0219-2713(2009)12—0017—03 0 引言 低温等离子体的产生方法主要有 辉光放 电、 电晕放 电、介质阻挡放 电、射频低温等离子体放 等离子体是物质存在 的第 四种状态 。它 由 电等。我们设计开发的四相高压等离子放 电电源 电离的导 电气体组成 ，其 中包括六种典型的粒 主要应用于减小飞机阻力的实验，低温等离子体 子，即电子、正离子、负离子、激发态的原子或 的产生方法采用介质阻挡放 电法产生 。 分子、基态的原子或分子 以及光子 。等离子体辅 助加工被用来制造特种优 良性能的新材料、研制 1主要技术指标 新的化学物质和化学过程 ，加工、改造和精制材 该 电源输入 电压是市 电220VAC输 出电压 料及其表面，具有极其广泛的工业应用如薄膜沉 0～40kV(Vp-p)可调，频率从0～30kHz连续可 积、等离子体聚合、微 电路制造到焊接、工具硬 调的高频高压 电，高压输 出共分为0。、90。、 化、超微粉的合成、等离子体喷涂、等离子体冶 l80。、270。四个相位，电源 的负载是介质阻挡等 金、等离子体化工、微波源等。另外还有一个很 离子放 电电极。 重要的应用领域那就是如果在飞机的机身和机翼 上包裹上一层等离子体时，飞机飞行时的空气阻 2 电路原理 力会大大减小。 该电路采用两级变换。第一级采用B