PZT薄膜在MEMS器件中的研究进展-材料工程.PDFVIP

下载本文档

13
0
约2.07万字
约 4页
2018-06-06 发布于天津
举报
版权申诉

PZT薄膜在MEMS器件中的研究进展-材料工程.PDF

1、原创力文档（book118）网站文档一经付费（服务费），不意味着购买了该文档的版权，仅供个人/单位学习、研究之用，不得用于商业用途，未经授权，严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等，侵权必究。。
2、本站所有内容均由合作方或网友上传，本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺！文档内容仅供研究参考，付费前请自行鉴别。如您付费，意味着您自己接受本站规则且自行承担风险，本站不退款、不进行额外附加服务；查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档，您可以点击这里二次下载。
3、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等，请点击“版权申诉”（推荐），也可以打举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次，网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档

PZT薄膜在MEMS器件中的研究进展-材料工程

P ZT M EM S 37 PZT MEMS Development of PZT Films in M E M S Device 1, 2 1, 2 2, 3 , , ( 1 , 150080; 2 , 150001; 3 , 100081) 1, 2 1, 2 2, 3 L U Ho ng -mei , Q U Cheng -jun , CA O Mao -sheng ( 1 Colleg e of Electro nic Eng ineering , Heilongjiang U niversity , Harbin 150001, China; 2 Depart ment of M at erial Science and Engineering , Harbin Eng ineering U niversity , Harbin 150001, China; 3 Scho ol of M at erial Science and Eng ineer ing , Beijing nst itut e of T echnolog y, Beijing 100081, China) : M EM S P ZT PZT M EM S PZT M EM S , P ZT : P ZT ; ; M EM S : T Q 174. 75 : A : 1001-4381 ( 2004) 06-0037-04 Abstract : T he pr eparat io n of PZT f ilms, t he problems in f abrication, t he PZT film s integ rated wit h M EM S device and t he development of PZT films appl icatio n in MEM S ar e present ed in t his paper . T heir fo reground of PZT f ilms applicat ion is also prospect ed. Key words: PZT ; f ilm s; M EMS [ 8] , : PL D - , , Sputt ering React ive Sput- PZT t ering[ 9] M agnetro n- Sputtering[ 10] RF -Sputt ering [ 11] , , ( M EMS) PZT PZT , ,