圆筒状DBD放电特性模拟研究.PDFVIP

第 28 卷 第 2 期 核 聚 变 与 等 离 子 体 物 理 Vol.28, No.2 2 0 0 8 年 6 月 Nuclear Fusion and Plasma Physics June 2008 文章编号：0254−6086(2008)02−0177−05 圆筒状 DBD 放电特性模拟研究 何 涛，丁 可，张 菁，郭 颖 (东华大学理学院，上海 201620) 摘 要：用 XOOPIC 软件对同轴圆筒状反应装置 DBD 放电特性进行了二维模拟研究。在频率为 20kHz 、正 弦电压幅值为 5kV 的大气压氩气放电中，再现了微放电通道形成和发展过程，其微放电的寿命约为 4ns 。获得了 电子、离子、介质表面电荷密度和电场强度随空间和时间的分布，发现在高压线圈的位置附近电子、离子和介质 表面电荷密度存在极值。与典型平板介质阻挡放电相比，微放电中的电子密度、场强增加 2~3 个数量级。 关键词：同轴圆筒状；DBD ；模拟计算 中图分类号: 0539 文献标识码： A 1 引言 介质阻挡放电 (DBD)是一种典型的非平衡态 交流气体放电，现已被广泛应用于刻蚀、材料表面 改性、臭氧合成、单色光源、等离子体平板显示 (PDP)等工业领域。大气压介质阻挡放电能够在较 经济、简便的条件下产生非平衡态等离子体，因此 它具有更大的应用前景[1, 2] 。根据放电气体与放电 气体参数的不同，介质阻挡放电又可呈现弥散放 电、斑图放电和丝状放电三种放电模式[3] 。由于大 错误！ 气压下辉光放电对放电参数要求比较苛刻，所以在 图1 放电反应器截面图 目前工业生产领域大气压下的丝状放电应用较为 广泛，因此对常压下DBD丝状放电特性模拟研究 线状，缠绕在处于圆筒轴心的陶瓷上，电极直径为 具有十分重要意义。 2mm ，每个线状电极间隔为1cm；陶瓷管的介电常 在氩气作为典型的放电气体的DBD反应发生 数9.5 ，二次电子发射系数为0.5 ；有机玻璃作为圆 ～ 装置中，进行了大量微放电特性的研究工作[4 6] 。 筒的外壳；两电极间所加正弦电压幅值为5kV ，频 但对同轴圆筒状反应装置DBD放电特性进行模拟 率为20kHz 。 的研究很少。利用XOOPIC软件对大气压下同轴圆 利用XOOPIC[7]作为动态模拟软件，对上述实 筒状反应装置DBD氩气放电特性进行了模拟研 验装置的Ar放电进行了模拟。表 1列出了模拟所采 究，获得了电子、离子密度和电场的时空分布，对 用的参数。 氩气介质阻挡丝状放电的物理机理进行研究。 3 模拟结果与分析 2 放电装置和模拟参数 在模拟过程中，考虑了粒子(电子和正离子)的 放电装置的结构如图 1所示。x方向的底座半径 碰撞电离与复合、光电离、二次电子发射等。通过 为2.4 cm ，y 方向的轴向长度为8.4cm。高压电极为 XOOPIC模拟，可以看到放电通道的形成与发展过 收稿日期：2007−05−16；修订日期：2007−11−20 基金项目：国家自然科学基金资助项目 作者简介：何涛(1982−) ，山东人，硕士生，从事等离子体聚合方面的研究。 1