[工学]1773_面向LED封装的XY二自由度的工作台的设计.pdfVIP

面向 LED 封装的 XY 二自由度的工作台的设计 1. 前 言 封装是指安装半导体电路外壳，不仅起着安放、固定、密封、保护芯片使之不受 外界环境干扰和腐蚀破坏的作用，而且是沟通内部电路与外部电路的桥梁。所谓 LED 封装加工是将晶片上的连接点用导线封装外壳的引脚上， 这些引脚又通过导线与其他 电路连接，因此，封装对 LED 芯片起着重要的作用。而阴险键合(Wire blonding)技 术仍然是 LED 封装连接技术中广泛使用的灵活形式，焊线机是用铝线（或其他材料） 把电路板上的压焊点与外壳或引线框架上的外引线引出端通过键合连接起来。 近年来，随着电子技术、计算机技术的发展，各种形式的封装样式越来越多，LED 封装高速、高精度的需求日益紧迫。为进一步提高质量和生产率，对该类设备的运动 精度和运动速度、加速度等性能提出了更高的要求，也体现了该类作业装备向高速、 高精度方向发展的趋势。这就要求 LED 的封装技术不断的发展和改良。 目前，大多数封装装备中采用的是电机——滚珠丝杠式的驱动方式，伺服电机的 旋转运动是通过丝杠转为定位平台的直线运动，其极限加速度可以达到 1g。 日本发明了一种采用直线电磁电机驱动的 XY 定位平台，可以有效地提高定位系 统的速度和可靠性。省去了旋转电机驱动中的传动环节，从而都不痛的提高了  XY  定位平台的性能。但目前存在的问题是，无论用哪种直线电机驱动方式，动补痛程度 的存在滞后、有限响应、有限加速度及速度等问题，且不同程度的限制了定位精度的 进一步提高。音圈电机(Yoica Coil Aotuator)是另一种可用于直接驱动的驱动元件它是 基于安培力原理制造的，除了和直线电机一样避免了传动环节存在间隙等不足外，在 理论上具有无限分辨率，还有无滞后、高响应、高加速度、高速度、体积小、力特性 好、控制方便等优点使音圈电机更适用于要求高加速度，高频激励，快速和高精度定 位的控制系统中[ss.}s]将其用于高频启动和转向的引线键合设备定位机构中，无疑是 理想的选择。 如下图所示即为音圈电机应用在半导体加工设备中的 XY 定位平台上的实例， 在该 X7 定位平台单方向，即X 向采用了传统结构的音圈电机驱动，Y 向 则用平面直线电机驱动.新加坡发明的双向都采用音圈电书 1 来驱动的 XY 精密定位 平台，即在该安装有焊头的 XY 定位平台中，其 X 向和 Y 向均采用音圈电机进行驱 动来实现焊头在水平面的两自由度运动。又比如美国 BEITedmologies 公司的音圈电 机也有用在 XY 定位平台上的成功范例。 近年来，随着电子技术、计算机技术的发展，各种形式的封装样式越来越多，LED 封装高速、高精度的需求日益紧迫。为进一步提高质量和生产率，对该类设备的运动 精度和运动速度、加速度等性能提出了更高的要求，也体现了该类作业装备向高速、 高精度方向发展的趋势。这就要求 LED 的封装技术不断的发展和改良。 本文面向 LED 封装的 XY 二自由度的工作台的设计为课题，设计一部高速、高 精度、可靠的 LED封装设备工作台。 2 X—Y 工作台的传动方式 本次设计的工作台为十字工作台，为保证一定的传动精度和平稳性以及结构的 紧凑，采用螺旋丝杠螺母传动副。电机与螺旋丝杠副采取直接连接的方式，即螺旋丝 杠转速/电机转速=1。为提高传动刚度和消除间隙，采用有预加载荷的结构。采用直 线导轨副，从而减小工作台的摩擦系数，提高运动平稳性。系统总体框图如下 主要完成的工作有：螺旋丝杠副的选取、电机的选取、轴承的选取、导轨副的 选取及工作台底座尺寸的设计。 3 螺旋丝杠副的选取 3.1 导程的选取 根据任务书选择行程=400mm，最大速度为 0.3m/s 作为设计目标进行计算。 因为设计要求分辨率范围是 0.1mm-0.01mm。粗选导程为 5mm，计算分辨率： S=Ph*A/B S 最小进给量，mm A 减速比，即滚珠丝杠副转速/电机转速 Ph 滚珠丝杠副的导程，mm B 角度测试仪和驱动的分辨率，即每转脉冲数，p/rev 电机与丝杠采取直接连接的方式，所以 A=1，伺服马达每转一周的最小分辨率通 常随着伺服马达的标准角度测试仪的分辨率（1000p/rev,1500p/rev）而成为 1000p/rev (无倍增)