[医药卫生]真空系统设计.ppt

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[医药卫生]真空系统设计

真空系统设计 主讲人:王继常 东北大学 真空系统设计 1.真空系统的组成 2.真空技术基本方程 3.真空系统的设计计算 4.气体流动状态的判别 5.流导的计算 6.抽气时间的计算 7.真空密封 1.真空系统的组成 1.1 真空系统的概念 1.2 真空系统的组成元件 1.3 真空系统示意图 1.4 高真空系统 1.5 真空系统设计的基本内容 1.1 真空系统的概念 什么是真空系统? 用一句话来概括,真空系统就是用来获得有特定要求的真空度的抽气系统。 1.2 真空系统的组成元件 一个较完善的真空系统由下列元件组成: 1.抽气设备:例如各种真空泵; 2.真空阀门; 3.连接管道; 4真空测量装置:例如真空压力表、各种规管; 5.其它元件:例如捕集器、除尘器、真空继电器规头、储气罐等。 1.3 真空系统示意图 一个要进行真空处理的容器,用管道和阀门将它与真空泵连接起来,同时在容器上设置真空测量装置,这就构成了一个最简单的真空抽气系统(如图1)。 1.4 高真空系统 图1所示的最简单的真空系统只能获得低真空度,当需要获得高的真空度时,需要添加高真空泵。当串联一个高真空泵之后,通常要在高真空泵的入口和出口分别加上阀门,以便高真空泵能单独保持真空。如果所串联的高真空泵是一个油扩散泵,为了防止大量的油蒸气返流进入被抽容器,通常在油扩散泵的入口加一个捕集器水冷障板(如图2所示)。根据要求,还可以在管路中加上除尘器、真空继电器规头、真空软连接管道、真空泵入口放气阀等等,这样就构成了一个较完善的高真空系统。 1.5 真空系统设计的基本内容 真空系统设计的基本内容:根据被抽容器对真空度的要求,选择适当的真空系统设计方案,进行选、配泵计算;确定导管、阀门、捕集器、真空测量元件等,进行合理配置,最后划出真空系统装配图和零部件图。 2.真空技术基本方程 2.1 真空系统的最主要性能参数: 极限真空度和有效抽速 2.2 流导的定义 2.3 真空技术基本方程 2.4 真空技术基本方程在真空系统设计中 的意义 2.1 真空系统的最主要性能参数: 极限真空度和有效抽速 真空系统的极限真空度是指在没有外加负荷的情况下,经过足够长时间的抽气后,系统所能达到的最低压力。 真空系统对容器的有效抽速是指在容器出口处的压力下,单位时间内真空系统能够从被抽容器中所抽除的气体体积。真空系统对容器的有效抽速不仅取决于真空泵的抽速,也取决于真空系统管路对气体的导通性能,即所说的流导。 2.2 流导的定义 流导的定义是:在单位压差下,流经管路的气流量的大小。用一个数学式子来表示,即: 式中 C—管路的流导, ;Q—流经管路的气流量, ;P1、P2—分别是管路的入口压力和出口压力,Pa。 2.3 真空技术基本方程 如果用Se来表示真空系统对容器的有效抽速,用Sp表示真空泵的抽速,C表示真空容器出口到真空泵入口之间管路的流导,则有 方程(a),(b),(c)本质上是同一个方程,在真空系统设计中是一个非常重要的方程,如果知道泵的抽速Sp和管路的流导C,就可以计算出系统对容器有效抽速,这个方程被称为真空技术基本方程。 2.4 真空技术基本方程在真空系统设计中 的意义 从方程(2b)可以看出:如果管路的流导C远大于泵的抽速Sp,则Sp /C的值远小于1,此时真空系统对容器的有效抽速Se≈ Sp 。这就是说为了充分发挥泵对容器的抽气作用,在设计真空系统管路时,应使管路的流导尽可能大一些。因此真空管路应该粗而短,切不可细而长。这是设计连接管道时的一条重要原则。相反,如果管路的流导C远小于泵的抽速Sp,则C/ Sp的值远小于1,从方程(2c)可以看出,此时真空系统对容器的有效抽速Se≈C,这就是说,在这种情况下,选择多大的泵都没有用,都不能提高泵对容器的有效抽速。 3.真空系统的设计计算 3.1 主泵 3.2 配泵 3.3 储气罐和维持泵 3.4 真空系统设计中应该注意的问题 3.5 真空系统的典型形式 3.6 真空系统的结构设计 3.7 真空系统操作规则 3.1 选主泵 选主泵要考虑两个方面,一是选择主泵的类型,二是确定主泵抽速的大小。 3.1.1 主泵的类型 确定主泵类型的依据: (1) 根据被抽容器所要求达到的极限真空度和工作真空度。一般选取主泵的极限真空度稍高于被抽容器所要求的极限真空度(如高半个数量级)。每一种泵都有其最佳工作压强范围,应保证将被抽容器的工作真空度选

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