装料合炉.pptVIP

装料合炉部分 流程图 装辅材料及工具 装料前确认项 1 确认外界环境达到装料要求。 1.1 待装料的相邻炉台没有拆装炉或清理炉膛。 1.2 确认车间内没有其他严重影响高纯卫生的情况（如电焊、施工等） 2确认热场安装正确，具体参照工步2-04。 3确认《单晶生产随工单》所列内容与实际情况相符。 4确认籽晶晶向（100/110/111/其它），若籽晶晶向与下料要求不同，需更换籽晶。 发现问题及时报告上级主管。 作业流程 1 准备工作 1.1工具准备，如右图所示。 1.2用蘸酒精的纸将装料车擦拭干净。 1.3 将原料整齐码放在装料车下层。 石英坩埚的检查及安装 2.1 取石英坩埚 2.1.1到石英坩埚房，根据随工单要求核对石英坩埚尺寸及种类。将石英坩埚纸箱包装打开， 按右下图所示，提出石英坩埚并倒扣在坩埚运输小车上。 2.1.1.1 在倒扣石英坩埚过程中，不能使石英坩埚有任何磕碰。 2.1.1.2 打开的坩埚纸箱需拆卸并整齐放置在指定位置，保持 坩埚房干净整洁。 2.1.2 将石英坩埚拉至装料车旁，打开石英坩埚外包装袋，将石英坩埚连同内包装袋一起倒扣放置在装料车上层，如下图 2.1.3 按图右 所示，穿戴装料服，戴上一次性手套、口罩。 2.1.4 一只手提住石英坩埚内包装袋，另一只手握紧石英坩埚上沿，将其翻转过来。如下图。注意翻转时要握紧石英坩埚，缓慢将其翻转在装料车上，在翻转过程中保证不能有磕碰。 2.1.5 打开石英坩埚内包装袋。 2.1.6 更换一次性手套，检查石英坩埚，如下图 ，若发现其有裂纹、划痕、气泡杂质 点、内壁不光滑等现象，及时报告上级主管进行处理。 【注】：若石英坩埚为涂层坩埚，严禁以任何形式触摸石英坩埚内壁的涂层。 2.2 装石英坩埚 两人配合进行作业。握紧石英坩埚上沿，将其缓慢提起并平稳放置于石墨埚帮中，如 下图。要求其与石墨埚帮间隙均匀，保持水平（高出石墨埚帮距离一致）。 3取料 用剪刀把多晶料外包装全部剪开，重新换上新的一次性手套，取出原料内包装将其剪开并 整齐摆放在装料车上层（禁止用触摸外包装袋的手套触摸内包装袋，须两人作业）。 4 装料及注意事项 4.1 按照右图所示原则进行装料。仔细观察，小心码放，利用好坩埚空间，尽量多装料。 4.2 若原料中有颗粒料，仍按照上图所示原则装料，每装一层块状料，需将颗粒料填充在块料缝隙中。 4.3 若原料全为颗粒料， 每装5kg 原料需将其抹平，禁止压料。颗粒料不能装满，保证原料上端距石英坩埚上平口至少30mm 距离。 4.4 装料完成后，更换高纯服。 4.5 装料注意事项 4.5.1 所有料块自然堆砌且紧凑，不能硬挤硬塞。 4.5.2 料块尖锐部分，不能正对着石英坩埚内壁。 4.5.3 装大块料时，需对称放置，尽量保持重心在石英坩埚中心处。若料块太大（大于120mm）， 需拍碎。 4.5.4 上层靠近石英埚壁且高出石英坩埚上沿的料块，使其重心处于石英坩埚上沿以下，禁止料块超出石英坩埚内沿。 4.5.5 装料过程中不能将原料掉入热场内。如果掉入，必须取出。 4.5.6 最上层原料码放垒实，保证启动埚转后，不会滑落且热屏下沿不会和原料接触。 4.5.7 若有掺杂剂，须将掺杂剂装在石英坩埚中部。 4.5.8装料时要保证原料的高纯，禁止任何非高纯物品接触原料。 5 埚位放置 5.1依次点击【坩埚提升】→【坩埚定位】（如下图），在设定值一栏中输入“0” 点击【开始】按钮。 5.2用吸尘管吸附加热器平口、石墨埚帮、上保温上沿及排气孔周围的硅粉。 5.3按照5.1放置埚位方法，设定熔料埚位，具体埚位设定值见下表： 【注】： 埚位满足以上条件，同时需满足将导流筒放置好后导流筒下沿与最上层原料留有足够空间，保证熔料时能够启动埚转。 6 依次安装下保温盖→导流筒→固毡大盖→封气条，具体要求见工步2-04。 7 用吸尘软管吸附封气条周围的碳粉，用无尘纸蘸酒精擦拭主炉筒上沿、炉盖下沿及副室接口的密封面。 8 合炉 8.1 旋转炉盖至主炉室定位块处，按【拉伸腔下降】按钮，使炉盖与炉筒止口吻合，接触紧密。 8.2 旋转副室炉筒至炉盖定位块处，按【拉伸腔下降】按钮，使副室炉筒与炉盖止口吻合，接触紧密。 【注】：下降炉盖及副室炉筒须下降至限位处。防止把其它线路或水管压在限位或密封面处。 9 核对工艺参数，修改投料量 9.1 根据《单晶生产随工单》要求切换对应的计算机SOP工艺参数。 9.2 检查确认刚切换的工艺参数，主要包括：热场尺寸、晶体直径、埚跟比值等参数。 9.3 修改投料重量 9.3.1 点击【工艺参数】修改初始装料量。 9.3.