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第一部分：真空泵的介绍 vacuum pump 真空泵 真空泵就是从真空容器中抽气、一般在大气压下排气的输送机械。若将前述任何一种气体输送机械的进口与设备接通，即成为从设备抽气的真空泵。利用 机械 、物理、化学、物理化学等方法对容器进行抽 气，以获得和维持真空的装置。真空泵和其他设备（如真空容器、真空阀、真空测量仪表、连接管路等）组成真空系统，广泛应用于电子、冶金、化工、食品、机械、医药、航天等部门。  真空泵的分类 根据工作压力可分为低真空泵、中真空泵、高真空泵和超高真空泵4种；根据工作介质可分为水蒸气真空泵??? 、??? 油蒸气真空泵和水环泵等；根据在真空系统中所起的作用可分为主抽泵、增压泵、前置泵、粗抽泵和维持泵等。 根据结构的不同，真空泵可分为旋片真空泵、往复真空泵、罗茨真空泵、滑阀真空泵、液环真空泵、喷射泵等。?真空泵机组是指为达到一定的真空度，将两种或以上真空泵组合起来形成机组。 下面简要介绍几种常用pump的排气过程。 根据PECVD主设备的真空度要求，我们采用的pump类型为DRP pump. CVD Process 用 Vacuum Pump. 每 Chamber 使用1ea (每 1System 使用5ea). Process Chamber的真空要求为1mtorr—760torr。基础真空为500mtorr。 我们cvd设备的process chamber采用的pump型号为ULVAC3600。 下面详细介绍下罗茨泵和其工作原理。 罗茨真空泵（简称罗茨泵）是一种旋转式变容真空泵。它是由罗茨鼓风机演变而来的。根据罗茨真空泵工作范围的不同，又分为直排大气的低真空罗茨泵；中真空罗茨泵（又称机械增压泵）和高真空多级罗茨泵。一般来说，罗茨泵具有以下特点： 1 在较宽的压强范围内有较大的抽速； 2 起动快，能立即工作； 3 对被抽气体中含有的灰尘和水蒸气不敏感； 4 转子不必润滑，泵腔内无油； 5 振动小，转子动平衡条件较好，没有排气阀； 6 驱动功率小，机械摩擦损失小； 7 结构紧凑，占地面积小； 8 运转维护费用低。 因此，罗茨泵在冶金、石油化工、造纸、食品、电子工业部门得到广泛的应用。  下面详细介绍下pump的吸气，排气过程。 Process Pump 由 1个 Booster Pump与 1个 Dry Pump 构成一个 Module 而运营. 由于腔体内部powder过多导致两个转子之间的缝隙被堵塞，造成两个转子之间发生卡死状况。 Alarm为： pump E-alarm。 如果reset无效，则需要pump change。 Pump发生water flow low alarm，表示pump下面的water filter发生了堵塞，水流量低的时候发生alarm，对water filter清洗或者更换之后，pump可以继续使用。使用runtime在10000小时以内的pump已经改成新型的filter，不会发生此种alarm。 BOE OT THIN FILM - PECVD PECVD 新 入 社 员 教 育 ( PUMP及真空技术 ) PECVD 08年 04月 目录： 真空泵的介绍 ULVAC3600罗茨真空泵结构 ULVAC3600罗茨真空泵更换 真空泵基础知识 真空泵的分类 真空泵的分类 真空泵的种类很多。根据抽气机理可分为： ①变容真空泵。利用泵腔工作容积的变化来抽气，如往复真空泵、旋片真空泵、余摆线真空泵、滑阀真空泵、罗茨真空泵和液环真空泵等。 ②动量传输真空泵。利用高速蒸气（汽）射流或高速旋转的转子来抽气，如油扩散泵、水蒸汽喷射泵、扩散喷射泵、涡轮分子泵等。 ③捕集真空泵。利用吸附和冷凝作用使气体分子永久或暂时贮存在泵内，如分子筛吸附泵、吸气剂离子泵、钛升华泵和低温泵等。  使用到真空的 PUMP，根据其所需真空度进行使用是最为理想的。 pump大体上分为气体输送方式与气体储存方式两种。 高真空 超高真空 粗糙真空 10-12 10-10 10-8 10-6 10-4 10-2 1 10 2 Ion Pump Turbo Pump Cryo Pump Oil 扩散 Pump 液化氮气Trap Pump Booster Pump ?? Pump Oil 旋转 Pump Dry pump piston 旋转pump 1) Rotary vane pump的排气过程 (oil pump) 吸入 隔离 压缩 排气 2) Dry pump的排气