[工学]第二章真空的获得与测量技术.pptVIP

第二章 真空的获得与测量技术 2.1 气体分子运动论的基本概念 2.2 气体的流动状态和真空的获得 2.3 各类真空泵简介 2.4 真空测量技术 2.5 几种典型真空系统的建立 2.1 气体分子运动论的基本概念 1. 描述气体分子状态的宏观物理量-P、T、V 理想气体状态方程： 普适气体常数 ：R=8.31J.mol-1K-1 波尔兹蔓常数 k=R/NA=1.38?10-23JK-1) 2.1 气体分子运动论的基本概念 2.气体分子的运动速度及其分布 2.1 气体分子运动论的基本概念 3 . 气体分子的平均自由程 一个气体分子在两次碰撞之间的平均距离： n : 单位体积内的分子数； d : 气体分子的直径 1.1 气体分子运动论的基本概念 衬底完全被一层分子覆盖所需时间： 2.1气体分子运动论的基本概念 5 真空度 真空度的常用单位为帕（Pa) 或托（Torr): 1 Torr = 133 Pa 真空度