新型控制方式在超薄片双面研磨抛光加工中的应用-甘肃科技.PDFVIP

第２９卷　第２０期 甘肃科技 Ｖｏｌ２９　Ｎｏ２０ ２０１３年１０月 ＧａｎｓｕＳｃｉｅｎｃｅａｎｄＴｅｃｈｎｏｌｏｇｙ Ｏｃｔ　２０１３ 新型控制方式在超薄片双面研磨抛光加工中的应用 ———针对超薄蓝宝石片、蓝玻璃、石英片的加工解决方案 梁　春 （兰州瑞德设备制造有限公司，甘肃 兰州７３００２０） 摘　要：首先简单介绍了双面研磨／抛光加工的机理，随后针对超薄硬脆材料的双面加工对设备所提出的需求，从上 下盘的面形控制、压力精度控制和速度同步性的控制等方面分别阐述了对超薄片加工的不同影响，及相应的解决办 法和思路。最后提到，双面研磨抛光设备要想获得理想的加工精度，成熟的工艺也是必要的保证。 关键词：超薄片；面形控制；压力控制精度；同步控制；工艺 中图分类号：Ｖ２２７ 　　双面研磨／抛光设备主要用于平行平面硬脆材 光盘间做行星运动，然后加入相宜的液体研磨料或 料的双面研磨抛光加工，利用