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磷扩散 PN结——太阳电池的心脏 扩散的目的：形成PN结 PN结的制造 制造一个PN结并不是把两块不同类型（p型和n型）的半导体接触在一起就能形成的。 必须使一块完整的半导体晶体的一部分是P型区域，另一部分是N型区域。 也就是在晶体内部实现P型和N型半导体的接触 。 扩散装置示意图 气路图 扩散炉总体结构 控制部分、推舟净化部分、电阻加热炉部分、气源部分。 影响扩散的因素 管内气体中杂质源的浓度 扩散温度 扩散时间 太阳电池磷扩散方法 １．三氯氧磷（POCl3）液态源扩散 ２．喷涂磷酸水溶液后链式扩散 ３．丝网印刷磷浆料后链式扩散 本公司目前采用的是第一种方法。 POCl3 简介 POCl3是目前磷扩散用得较多的一种杂质源 无色透明液体，具有刺激性气味。如果纯度不高则呈红黄色。 比重为1.67，熔点2℃，沸点107℃，在潮湿空气中发烟。 POCl3很容易发生水解，POCl3极易挥发。 POCl3磷扩散原理 POCl3在高温下（600℃）分解生成五氯化磷（PCl5）和五氧化二磷（P2O5），其反应式如下： 生成的P2O5在扩散温度下与硅反应，生成二氧化硅（SiO2）和磷原子，其反应式如下： POCl3磷扩散原理 由上面反应式可以看出，POCl3热分解时，如果没有外来的氧（O2）参与其分解是不充分的，生成的PCl5是不易分解的，并且对硅有腐蚀作用，破坏硅片的表