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固相法制备ZST系微波介质陶瓷的研究状况 　　摘要：固相法具有设备简单，工艺成熟，便于操作等特点，被广泛的应用于企业生产和研究机构中，本文总结了近年来利用固相法制备ZrSnTiO4（以下简称ZST）系微波介质陶瓷的研究成果，展望了ZST的研究和应用前景。 　　关键词：微波介质陶瓷；ZST；品质因数；施主；受主 　　中图分类号：TQ174.1 文献标识码：A文章编号：1007-9599 (2011) 14-0000-01 　　Solid Phase ZST System Microwave Dielectric Ceramics Research Status 　　Wang Zhuobin,Yang Chuanren,He Donglin,Tang Gaofeng,Qin Dengjing 　　(University of Electronic Science and Technology of China, Institute of Microelectronics and Solid Electronics,Chengdu610054,China) 　　Abstract:Solid-phase method with simple equipment,mature technology,convenient operation,is widely used in production and research institutions,this article summarizes the recent use of solid-phase preparation ZrSnTiO4(hereinafter referred to as ZST)Department of Microwave Dielectric Ceramics research results and look forward to the ZST research and application prospects. 　　Keywords:Microwave dielectric ceramics;ZST;Quality factor;Donor; 　　Acceptor 　　一、前言 　　微波介质陶瓷是近三十年来发展起来的一种新型的功能电子陶瓷，是指应用于微波频段（主要是UHF，SHF频段）电路中作为介质材料并完成一种或多种功能的陶瓷。ZST系微波介电陶瓷就属于中等介电常数类中非常突出的一系，这一体系最先由muRata公司于70年代末研制成功，其通式为ZrxSnyTizO4（X+Y+Z=2），通常Z=1，故为Zr1-XSnXTiO4，随着Sn含量的增加，其介电常数和谐振频率温度系数逐渐的减小，而品质因数逐渐增加，在X=0.2时其性能最佳：εr为38，Qf值49000（f=7GHz），τf=0PPM/℃。 　　由于固相法的工艺简单且成熟，便于操作，所以广泛的被用于企业生产和研究机构中，它主要是采用高纯度的ZrO2，SnO2，TiO2原料为主成分，主要工序为按设定组成配比，湿磨混料，烘干脱水制得混合粉料，然后再经煅烧，成型，最后烧结得到。 　　二、改性研究 　　最初ZST系陶瓷通过固相反应由ZrO2，SnO2，TiO2在约1600℃的高温下烧结而成，生产成本高，随后的研究工作主要集中在如何利用适当的添加剂来降低烧结温度并保证εr，Qf，τf值满足介质材料的应用要求。 　　（一）施主掺杂 　　D.Houivet[1]等通过掺杂La2O3后可提高ZST的致密度，因为La203有促进晶粒增长的作用。而La3+的半径大于Zr4+，Sn4+，Ti4+的半径。所以La3+无法取代四价离子与ZST系统反应要生成第二相，若添加剂量适中，在烧结中形成的液相适量，既有利于提高烧结速度，又能充分排除气孔，且不至于留下过多的晶界相，从而使εr值达到最高。S.Genvovie等人通过添加ZnO（固定1wt%），La2O3，NiO后知，单独添加2wt%La2O3可降低烧结温度到1330℃，但是Qf值低至22760，而再添加0.2wt%的NiO后Qf为50830有明显的提高，一个可能的原因是Ni原子与Zn原子一样不会扩散进入晶格中，而是在晶界处形成一层薄的（Zn，Ni）2TiO4的尖晶石结构，这层薄的尖晶石层抑制了Sn离子在晶界处的偏析，导致了空间电荷的改变，减少了Sn离子对介电损耗的贡献。 　　陈颖力，陈玉华[2]通过添加Fe2O3，NiO后的ZST的介电性能发现。Fe掺杂减少了材料的Q值。但随着Ni掺杂的增大，Q值的下降被抑制。这可能是因为Ni离子作为晶粒的生长的抑制剂而起到作用，并且阻碍了Fe3+扩散进入晶粒，使得Fe3+富集在晶界上，在晶界中形成