[工学]材料物理06 溶液镀膜法.ppt

第六章 溶液镀膜法 § 6-1 Sol-Gel法（溶胶－凝胶） § 6-1 Sol-Gel法（溶胶－凝胶） 二、Sol－Gel法优点： 二、Sol－Gel法 三、Sol－Gel法缺点： 四、对原料的要求： 五、制备方法 Sol一Gel制备PZT的工艺流程 (1)溶胶的制备 B.无机途径(胶体法) 二、LB膜的历史 三、单分子层的形成 四、LB膜的制备方法 五、LB膜的结构 § 6-3 阳极氧化法 § 6-4 电镀法 § 6-5 化学镀 § 6-6 水热法 水热法制备薄膜的化学反应是在高压容器内的高温高压流体中进行的。一般以无机盐或氢氧化物水溶液作为前驱物 ,以单晶硅、 金属片、 α -Al2O3、 载玻片、 塑料等为衬底，在低温 (常低于300 ℃)下对浸有衬底的前驱物溶液进行适当的水热处理，最终在衬底上形成稳定结晶相薄膜。其反应过程的驱动力认为是可溶前驱物或中间产物与最后稳定氧化物之间的溶解度。 * * ● Sol－Gel 法 ● LB膜 ● 阳极氧化法 ● 化学镀 ● 电镀法 ● 水热法 一、定义： 金属醇盐或其他盐类溶解在醇、醚等有机溶剂中形成均匀的溶液，溶液通过水解和缩聚反应形成溶胶，进一步的聚合反应形成凝胶，再经过热处理，除去凝胶中的剩余有机物和水分，最后形成所需的陶瓷或薄膜。 溶胶－凝胶法就是用含高化学活性组分的化合物作前驱体，在液相下将这些原料均匀混合，并进行水解、缩合化学反应，在溶液中形成稳定的透明溶胶体系，溶胶经陈化胶粒间缓慢聚合，形成三维空间网络结构的凝胶，凝胶网络间充满了失去流动性的溶剂，形成凝胶。凝胶经过干燥、烧结固化制备出分子乃至纳米亚结构的材料。 胶体（colloid）是一种分散相粒径很小的分散体系，分散相粒子的重力可以忽略，粒子之间的相互作用主要是短程作用力。 　　溶胶（Sol）是具有液体特征的胶体体系，分散的粒子是固体或者大分子，分散的粒子大小在1～1000nm之间。 　　凝胶（Gel）是具有固体特征的胶体体系，被分散的物质形成连续的网状骨架，骨架空隙中充有液体或气体，凝胶中分散相的含量很低，一般在1％～3％之间。 1）化学剂量准确，均匀性好 2）高纯度，易于掺杂改性 3）可降低烧结温度 4）可制备薄膜、纤维、超细粉末及多孔材料，以及 非晶态材料及新型晶态材料 5）工艺简单，易于推广，成本低，成膜面积 该法的主要优点是，反应在室温下进行，具有原子或分子水平的均匀性、纯度高、烧结温度低、设备简单，可制作大面积薄膜。所以Sol－Gel法最主要的优点是反应温度低，以及可以在分子水平上进行组元的控制。 溶胶－凝胶法与其它方法相比具有许多独特的优点： 　（1）由于溶胶－凝胶法中所用的原料首先被分散到溶剂中而形成低粘度的溶液，因此，就可以在很短的时间内获得分子水平的均匀性，在形成凝胶时，反应物之间很可能是在分子水平上被均匀地混合。 　（2）由于经过溶液反应步骤，那么就很容易均匀定量地掺入一些微量元素，实现分子水平上的均匀掺杂。 　（3）与固相反应相比，化学反应将容易进行，而且仅需要较低的合成温度，一般认为溶胶一凝胶体系中组分的扩散在纳米范围内，而固相反应时组分扩散是在微米范围内，因此反应容易进行，温度较低。 　（4）选择合适的条件可以制备各种新型材料。 1）原料价格高 2）大的收缩率和开裂 3）残余的微气孔 4）残余的羟基、碳等 5）有机溶剂有毒性 6）工艺周期长 关键：1.必须获得稳定的溶胶， 2.凝胶过程中有效地控制水解缩聚反应。 溶胶一凝胶法也存在某些问题：首先是目前所使用的原料价格比较昂贵，有些原料为有机物，对健康有害；其次通常整个溶胶－凝胶过程所需时间较长，常需要几天或几周：第三是凝胶中存在大量微孔，在干燥过程中又将会逸出许多气体及有机物，并产生收缩。 ①高金属含量， ②在溶剂中的溶解度高，因此一般不用水溶液 ③热处理时无熔化或蒸发现象，室温时稳定，不浑浊，不沉淀，不凝聚， ④ 制备多组元薄膜时，几种有机化合物互溶。一般需折衷选取，多数采用醋酸类或金属醇盐。 ⑤有少量水参与时应易水解。 ⑥水解所生成的各种氧化物薄膜能在较低温度下进行充分脱水。 首先将金属醇盐溶于有机溶剂中，然后加入其他组分（可为无机盐形式，只要加入后能相互混溶即可），制成均质溶液，在一定温度下溶解－聚合，形成凝胶，刚刚形成的膜中含有大量的有机溶剂和有机基团，然后干燥，充分干燥的凝胶经热处理，即可得所需晶形薄膜。 可以用于制备金属、合金氧化物薄膜，如微电子中的铁电、压电、热释电薄膜：PbTiO3、PZT、PLZT以及超导薄膜。 乙酸铅溶入乙酸 加入异