[工学]现代机电技术-3.ppt

第3章 光机电一体化技术 3.1 光机电一体化理论基础 3.1 光机电一体化理论基础 3.1 光机电一体化理论基础 3.1 光机电一体化理论基础 3.1 光机电一体化理论基础 3.1 光机电一体化理论基础 3.1 光机电一体化理论基础 3.1 光机电一体化理论基础 3.1 光机电一体化理论基础 3.1 光机电一体化理论基础 3.1 光机电一体化理论基础 3.1 光机电一体化理论基础 3.1 光机电一体化理论基础 3.1 光机电一体化理论基础 3.1 光机电一体化理论基础 3.1 光机电一体化理论基础 3.1 光机电一体化理论基础 3.1 光机电一体化理论基础 3.1 光机电一体化理论基础 3.1 光机电一体化理论基础 3.1 光机电一体化理论基础 3.1 光机电一体化理论基础 3.1 光机电一体化理论基础 3.1 光机电一体化理论基础 3.1 光机电一体化理论基础 3.1 光机电一体化理论基础 3.1 光机电一体化理论基础 3.1 光机电一体化理论基础 3.1 光机电一体化理论基础 3.1 光机电一体化理论基础 3.1 光机电一体化理论基础 3.1 光机电一体化理论基础 3.1 光机电一体化理论基础 3.1 光机电一体化理论基础 3.1 光机电一体化理论基础 3.1 光机电一体化理论基础 3.1 光机电一体化理论基础 3.1 光机电一体化理论基础 3.1 光机电一体化理论基础 3.1 光机电一体化理论基础 3.1 光机电一体化理论基础 3.1 光机电一体化理论基础 3.1 光机电一体化理论基础 3.1 光机电一体化理论基础 3.1 光机电一体化理论基础 3.1 光机电一体化理论基础 3.1 光机电一体化理论基础 3.1 光机电一体化理论基础 3.1 光机电一体化理论基础 3.1 光机电一体化理论基础 3.1 光机电一体化理论基础 3.1 光机电一体化理论基础 3.1 光机电一体化理论基础 3.1 光机电一体化理论基础 3.1 光机电一体化理论基础 3.1 光机电一体化理论基础 3.1 光机电一体化理论基础 3.2 微光机电系统 3.2 微光机电系统 3.2 微光机电系统 3.2 微光机电系统 3.2 微光机电系统 3.2 微光机电系统 3.2 微光机电系统 3.2 微光机电系统 3.2 微光机电系统 3.2 微光机电系统 3.2 微光机电系统 3.2 微光机电系统 3.2 微光机电系统 3.2 微光机电系统 3.2 微光机电系统 3.2 微光机电系统 3.2 微光机电系统 3.2 微光机电系统 3.2 微光机电系统 3.2 微光机电系统 3.2 微光机电系统 3.3 微光机电系统器件 3.3 微光机电系统器件 3.3 微光机电系统器件 3.3 微光机电系统器件 3.3 微光机电系统器件 3.3 微光机电系统器件 3.3 微光机电系统器件 3.3 微光机电系统器件 3.3 微光机电系统器件 3.3 微光机电系统器件 3.3 微光机电系统器件 3.3 微光机电系统器件 3.3 微光机电系统器件 3.3 微光机电系统器件 3.3 微光机电系统器件 3.3 微光机电系统器件 3.3 微光机电系统器件 3.3 微光机电系统器件 3.3 微光机电系统器件 3.3 微光机电系统器件 3.3 微光机电系统器件 3.3 微光机电系统器件 3.3 微光机电系统器件 3.3 微光机电系统器件 3.3 微光机电系统器件 3.3 微光机电系统器件 3.3 微光机电系统器件 3.3 微光机电系统器件 第3章完！ 1、自由空间微光学平台 * a、FS-MOB光开关阵列 实验表明，当用芯子直径为62.5um的多 模光纤，光纤之间的间距为80um，且光纤断 面用熔融的方法制成半球形微透镜时，测得 传输与反射两种状态的损耗和分别为1.3dB和 1.9dB，其中反射镜为镀金的多晶硅，反射率 约为87%，若进一步用化学机械抛光（CMP） 的方法改进其表面粗糙度，提高反射率，则 损耗还可进一步下降。 1、自由空间微光学平台 * b、可调式Fabry-Perot干涉仪 可调式干涉仪在波分复用（WDM）光通信、 光学频谱分析与测试方面非常有用。 平行板式及多层介质薄膜式干涉仪均可 用FS-MOB来实现， 结构如图所示， 它是在多晶硅平 板两侧都镀有三 对λ/4厚的SiO2/Si 介质薄膜组成。 1、自由空间微光学平台 * b、可调式Fabry-Perot干涉仪 由于介质膜内多光束干涉的结果，该平 板仅对某些设计波长透射，当旋转台带动多 晶硅平板旋转时， 透射波长将发生改 变。透射波长与平 板的转角的关系如 图所示。 1、自由空间微光学平台 * c、FS-MOB光盘读写头 FS-MOB光盘读写头的原理