有机电子材料蒸镀机机台规范.PDFVIP

有機電子材料蒸鍍機 機台規範 機台位置 : 綜合大樓203-1 物理鍍膜實驗室 管理負責單位名稱 :整合性奈米材料與生物電子實驗室 管理負責單位電話 :分機4440 目錄 : 一、 機台原理 二、 機台操作步驟 三、 注意事項 四、 機台緊急連絡方式 五、 機台A/B 級別考試內容 六、 機台操作參考範例 七、 製程範例 蒸鍍銀 八、 機台異常警報狀況與排除 一、機台原理 蒸鍍是在高真空狀況下，將所要蒸鍍的材料利用電阻或電子束加 熱達到熔化溫度，使原子蒸發，到達並附著在基板表面上的一種鍍膜 技術。在蒸鍍過程中，基板溫度對蒸鍍薄膜的性質會有很重要的影響。 通常基板也須要適當加熱，使得蒸鍍原子具有足夠的能量，可以在基 板表面自由移動，如此才能形成均勻的薄膜。基板加熱時，可以使沈 積膜與基板間形成良好的鍵結而不致剝落。 二、機台操作步驟 1.破真空 : 先確認CP是綠燈，關閉 MV閥及開啟 VV閥，再開氮 氣 (2Kgf/cm2 以下) 。可以檢查機台旁的數字顯示是否完成破真空 會亮紅燈並顯示數字( 0) ，檢查後便可以關氮氣。 2. 打開腔體後，先用吸塵器將腔體吸乾淨( ㄇ字形的蓋子可以拿起來 以便清潔) 。 3. 擺放試片以及欲蒸鍍的材料(蒸鍍材料必須夾緊，否則電流開不起 來) 。 4. 抽真空 : 將腔體門關起後，檔板也都關起來，當真空度達到 -6 3x 10 torr時，即可已開始蒸鍍。 5.點選下方 PROG 按鍵來選擇蒸鍍材料，接著按NEXT確認各個參 數。 -6 6.確認真空度達到 3x 10 torr時，先開啟試片的載台 旋轉5rpm 。 7.開電流時，先開蒸鍍材料的檔板 (TH1~3) ，接著按TH 手動選擇， 慢慢用手動操作上升電流值。 8. 當所要的鍍率以及預鍍的量達到時，即可按下方 SHUTTER鍵， 開始蒸鍍。 (下頁還有) 9. 蒸鍍完成時，機台的膜厚計會偵測設定的厚度並自動關閉試片的 檔板，而後慢慢手動降電流值，當電流降至 0時先關 TH1~3 ，再 關閉蒸鍍材料的檔板。 10.破真空 : 等待5 分鐘冷卻後，關閉試片的載台旋轉，再進行破真 空將試片以及剩餘的蒸鍍材料取出，一樣先按MV閥再按 VV閥， 並開氮氣，結束後關閉氮氣並關起腔體門後按自動抽氣。 指示燈 紅色燈亮 故障 橘色燈亮 加熱使用中 綠色燈亮 可破真空 三、注意事項 : -7 1. 檢查腔體底壓是否小於 10 Torr腔體之洩漏率是否小於 1 milliTorr/minute 。 2. 腔體內若裝有不需使用之靶材，在蒸鍍時需將靶材卸下或用鋁箔 紙包覆避免靶材受污染。 3. 檢查真空幫浦之運轉是否正常及異音，並 定期擦拭清潔腔體。 4. 檢查氮氣管路之閥門是否動作正常檢查腔體鉸鍊及門板是否正常 水路平度。 5.開啟蒸鍍機前，必須確認冰水機已開啟及冰水機水位是否過低、 空壓機壓力值與氣瓶是否正常。 6. 更換靶材或放置試片時，需穿戴防塵口罩與手套 。 7. 每次使用完畢必須詳盡填寫使用紀錄表 ，如機台有任何異常請先 停下製程，並立即通知機台管理者。 四、機台緊急連絡方式: 管理負責單位名稱 整合性奈米材料與生物電子實驗室 管理負責單位電話 分機4440 管理負責老師 蕭育生 管理負責老師電話 分機4458 手機 0952-278-502 106 學年負責管理學生 劉柔甄 分機4440 手機0962-082-008 106 學年負責管理學生 蔡宗瑋 分機4689 手機0987-