物理气相蒸镀有机薄膜及其在气体感测器应用之研究Vacuum.PDFVIP

物理氣相蒸鍍有機薄膜及其在氣體感測器應用之研究 Vacuum Deposition of Organic Thin Films and Its Application on the Gas Sensor 計畫編號 ：NSC 89-2214-E-041-002 執行期限 ：88 年8 月1 日至89 年7 月31 日 主持人 ：李玉郎 嘉南藥理科技大學 醫藥化學系 一 、中文摘要 二 、計畫緣由與目的 本研究利用物理氣相蒸鍍法將銅鈦花青 鈦花青 （Phthalocyanine ）是一種有機半導 (Copper Phthalocyanine, CuPc)蒸鍍在玻璃基 體材料 ，且具有很強的吸光能力，因此常被用 板 、金基質面以及電極上 ，藉由基板溫度的改 來做為光導體 ，有機太陽電池、光記錄器等之 變來製備薄膜，並利用X光繞射法(XRD)及掃描 材料 ，近年來更被廣泛的探討做為氣體感測器 式電子顯微鏡 （SEM）分析其薄膜晶相及表面 的可能性。當鈦花青接觸到氧化性氣體 ，（如： 結構 ，並探討其對二氧化氮氣體感測特性的影 O , NO, NO ），其導電度會增加並降低活化能； 2 2 響。實驗結果顯示CuPc的晶相為β相結晶，且 當接觸到還原性氣體（如：NH ）其導電度會降 3 不受基板溫度提高而改變 ，但其表面形態則因 低並增加活化能 。所以鈦花青被定義為p-型半 基板溫度的提高而由細晶粒形態變為線狀紋 導體[1] 。 路，再變為鬚晶。基板溫度對氣體感測的影響 ， 在氣體感測器的應用上 ，其感測特性受到 在基板溫度100℃時有最大的靈敏度。基板溫度 薄膜晶相及結構的影響 。而薄膜的製備程序 提高至150℃後，因為鬚晶結構較不緻密，氣體 中，基板溫度是影響薄膜結構的重要因素。文 脫附較易而使得回復時間縮短 。 獻中有學者利用不同材料的Pc 來探討基板溫度 關鍵詞 ：銅鈦花青，氣體感測器，基板溫度， 對薄膜晶相的影響[2-5] 。這些研究的結果發現 薄膜結構 。 薄膜的結晶度一般隨基板溫度增加而增加 ，而 Abstract 在不同的溫度下亦會有不同的晶相產生 。然而 Copper phthalocyanine (CuPc) was vacuum 對於薄膜晶相及結構的控制 ，及其對氣體感測 deposited onto substrates of glass, gold and 特性的了解 ，仍有很多侍未知而值得探討的。 electrode to study the effects of substrate 本專題的目的是藉由 CuPc 薄膜的製備來探討 temperature on the film structure. The CuPc films 基板溫度及材料對薄膜結構的影響 ，並了解其 were characterize by the X-ray diffraction (XRD) and Scanning electron microscopy (SEM), and 與氣體感測特性的關係 。 were related to the gas sensing properties to NO . 2 The results show that CuPc films have a â form 三 、實驗方法 structure, whi