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以微弧氧化提升鈦合金表面陶瓷膜之耐蝕性 以微弧氧化提升鈦合金表面陶瓷膜之耐蝕性 李九龍 呂承恩 蔡維庭 龍華科技大學化工與材料工程系 摘要 本研究利用微弧氧化(micro-arc oxidation,MAO)方法在鈦合金(Ti6Al4V)合金表面產 生氧化陶瓷膜，藉以提升其耐蝕性。研究中採用矽酸鹽溶液為主要系統，利用直流電源 在鈦合金上進行處理，探討微弧氧化對膜的生長速率、結構、型貌與相組成變化的影響， 並利用電化學阻抗分析頻譜(EIS)分析其耐蝕性，掃描式電子顯微鏡(SEM)觀察表面型 態、 X 射線繞射儀 (XRD)測量晶相組成、能量分析光譜儀 (EDX)測量膜的組成分。實驗 結果顯示厚度可達 170 μm 比傳統的陽極處理還要高出數倍，硬度比基材多了3-5倍 (達 1600Hv 以上) ，而耐蝕性方面也比基材提高20~30倍。 關鍵詞： 微弧氧化、鈦合金、厚度、硬度、陶瓷膜、耐蝕性 鋁、鈦、鎂等金屬或合金。微弧氧化是將 1.前言 樣品金屬置於電解液中，在表面上施加電 鈦在地球的含量僅次於鋁、鐵、鎂的 壓，最初表面會氧化成膜，當電壓超過某 金屬物質，由於鈦及其合金的密度小，比 一臨界值時，這層绝缘膜上較薄的地方將 強度高、熱穩定性好、耐蝕性能優異、具 會被擊穿，發生類似電漿放電現象，反應 有良好的成型性和加工性能，在許多工業 時表面的瞬間可達到 （約8000K 的高溫，） 部門：如航太、海運和生物醫學領域獲得 使金屬表面在熱化學、電漿效應和電化學 了廣泛應用(1-2) 。鈦一旦暴露於空氣中能 的共同作用下生成陶瓷膜層，因與基材氧 迅速形成一層緻密的氧化膜保護層(3)。但 化且燒結故膜厚可達 100 μm 以上，因從 因鈦合金摩擦係數大、耐磨性能差，限制 基材上生長，故與基材有著良好的結合力 了更廣泛的應用， 故藉由表面處理方式 (10-11) ，而且在製程、設備需求及廢水處 改善表層結構並強化耐蝕性成為研究 理方面皆比傳統陽極處理法簡單，故可降 的重點。目前鈦合金 常用的表面處理方 低成本，具有很高的應用推展價值。因 法有化學氣相沉積法(CVD) (4) 、物理氣 此，本研究利用微弧氧化技術針對鈦 相沉積法 (PVD)(5) 、熱濺射(6) 、陽極氧化 合金進行表面處理，以期獲得良好之 (7) 、離子束注入沉積(IBAD)(8)與電鍍(9) 表面特性，並將技術落實本土化。 等，但這些方法所獲得的膜與基材的結合 2.研究目的 力不夠強，耐蝕或耐磨性等仍無法滿足工 業界之需求。 本研究利用微弧氧化方法在鈦合金表 微弧氧化技術是一種在陽極氧化的基 面進行處理，在其表面生長陶瓷膜，以改 礎上發展的表面處理技術，它可以用於 善鈦合金的硬度與耐腐的性能，除改變不 1 龍華科技大學學報第二十七期,2009.06 同操作條件 電流密度、反應時間( ) ，並在 等等有待進一步更深入研究。 電解液中加入 EDTA ，觀察膜之表面均勻