发展我国有源选址显示产业的点滴思考.pdfVIP

发展发展我国有源选址显示我国有源选址显示产业产业的点滴思考的点滴思考 发展发展我国有源选址显示我国有源选址显示产业产业的的点滴思考点滴思考 孟志国，吴春亚，熊绍珍 南开大学 光电子所暨天津市光电子薄膜器件与技术重点实验室 （天津市南开区卫津路94号，300071） 摘要：有源选址平板显示已成为信息产业的重要支柱。目前，我国的技术根源多取自于外，何时、如何能 达到自主创新？ 1、1、 引言引言 11、、 引言引言 平板显示已经成为人们日常生活与生产中不可或缺的必需品之一。其产业地位、技术含量 以及对国民经济发展的带动作用，已经可与集成微电子学的地位相比拟，成为新兴的产业和学 [1][1] 科。它的技术或学科基础，是以薄膜晶体管 （TFT）为单元的大面积薄膜微电子学。图 1 示出[1][1] 以晶体管为基本器件单元的微电子技术的发展历程与以薄膜晶体管为基本概念的技术发展历程 的比较。该图清晰看出两者起步的时间相隔并不遥远。然而薄膜材料与器件技术的难度，使得 它进入产业化的时间，却比晶体硅集成电路的产业化发展历程要艰难得多。 [2] 是非晶硅材料的研究及其特性的日益改善，催生了非晶硅薄膜晶体管 （a-Si TFT）的发展 。 自 1979 年非晶硅薄膜晶体管 （a-Si TFT）诞生待走向产业化，在非晶硅太阳电池技术发展的带 Ge 双极晶体管双极晶体管 双极晶体管双极晶体管 Si 双极晶体管双极晶体管 双极晶体管双极晶体管 Si 双极晶体管产品问世双极晶体管产品问世 双极晶体管产品问世双极晶体管产品问世 12 年年 IC，，FET 年年 ，，