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第6章 压电式传感器 传感器原理及工程应用 压电式传感器的工作原理是基于某些介质材料的压电效应, 是典型的有源传感器。 第6章 压电式传感器 材料受力变形时,表面产生电荷，从而实现非电量测量。 压电式传感器具有体积小, 重量轻, 工作频带宽等特点, 因此在各种动态力、机械冲击与振动的测量, 以及声学、 医学、力学、宇航等方面都得到了非常广泛的应用。  压电效应: 6.1 压电效应及压电材料 某些电介质,当沿一定方向施力变形,内部产生极化现象,在两个表面上产生符号相反电荷, 当外力去掉后,其又重新恢复到不带电状态；当作用力方向改变时, 电荷的极性也随之改变。 这种机械能转为电能的现象, 称为“正压电效应” 。 在电介质极化方向施加电场,这些电介质也会产生变形, 这种现象称为“逆压电效应”（电致伸缩效应）。 具有压电效应的材料称为压电材料, 压电材料能实现机—电能量的相互转换, 如图所示。 压电材料可以分为两大类: 压电晶体和压电陶瓷 。 压电材料的主要特性参数有: 1）压电常数：是衡量材料压电效应强弱的参数, 它直接关系到压电输出的灵敏度。 2）弹性常数：压电材料的弹性常数、 刚度决定着压电器件的固有频率和动态特性。 3）介电常数：对于一定形状、尺寸的压电元件,其固有电容与介电常数有关; 又影响着压电传感器的频率下限。 4）机械耦合系数：在压电效应中,其值等于转换输出与输入的能量之比的平方根;衡量机电能量转换效率重要参数 5）电阻：电阻将减少电荷泄漏,改善压电传感器低频特性 6）居里点：压电材料开始丧失压电特性温度称居里点。 石英晶体化学式为SiO2, 是单晶体结构。 6.1.1 石英晶体 图a是天然结构石英晶体外形。 x (a) y 石英晶体各个方向的特性是不同的。 纵向轴 z 称为光轴, 经过六面体棱线并垂直于光轴的 x 轴称为电轴, 与 x 和z轴同时垂直的轴 y 称为机械轴。 通常把沿电轴x 方向的力作用下产生电荷的压电效应称为“纵向压电效应” 沿机械轴y 方向的作用下产生电荷的压电效应称为“横向压电效应”。 沿光轴z方向受力时不产生压电效应。 若沿y向切下一块如图c所示晶片,在电轴向施加作用力,与电轴x垂直平面上产生电荷,其大小为qx=d11fx d11——x方向受力的压电系数; (b) (c) 在同一切片上,沿机械轴向施加作用力fy则仍在与x轴垂直的平面上产生电荷qy,其大小为qy=d12fya/b d12——y向受力的压电系数,d12=-d11; 电荷qx和qy 的符号由所受压力或拉力决定。 石英晶体特性与其内部分子结构有关 石英晶体未受力作用时,正、负离子正好分布在正六边形顶角上,形成互成120°夹角的电偶极矩P1、P2、P3 (图a) 因为P=qL,此时正负电荷重心重合,电偶极矩矢量和为零,即P1+P2+P3=0, 所以晶体表面不产生电荷, 即呈中性。 石英晶体受沿x轴方向压力作用时如图b所示。电偶极矩在x方向上的分量(P1+P2+P3)0。在x轴正向出现负电荷,y方向上的分量为零,不出现电荷。 当晶体受到沿y轴方向的压力作用时, 晶体的变形如图c.与图b相似,在x轴上出现电荷,它的极性为x轴正向为正电荷。在y轴方向上不出现电荷。 如果沿z轴方向施加作用力,因为晶体在xy向的形变完全相同,正负电荷重心保持重合,电偶极矩矢量和为零 当作用力fx、fy的方向相反时, 电荷的极性也随之改变。  沿z轴方向施加作用力,晶体不会产生压电效应。 6.1.2 压电陶瓷 在无外电场作用时, 压电陶瓷内极化强度为零 施加外电场时,电畴极化方向转动趋向外电场方向的排列,使材料得到极化。 原始的压电陶瓷呈中性, 不具有压电性质。如图a。 外电场强度大到极化饱和程度时,外电场去掉后,电畴极化方向基本不变,即剩余极化强度很大,材料具有压电特性 极化处理后材料内部存在剩余极化,受力时,电畴偏转,引起剩余极化强度变化,垂直方向平面上出现极化电荷变化 因受力产生的机械效应转变为电效应, 将机械能转变为电能的现象, 就是压电陶瓷的正压电效应。 电荷量的大小与外力成正比关系:q=d33F 压电陶瓷的压电系数大, 压电陶瓷传感器的灵敏度较高。 极化处理后的压电陶瓷材料的剩余极化强度和特性与温度有关, 它的参数也随时间变化。 BaTiO3。压电系数约为石英的50倍,使用温度较低(70℃),温度稳定性和机械强度不如石英。 锆钛酸铅(PZT系列)有较高的压电系数和较高的工作温度 铌镁酸铅有极高的压电系数,承受较高的工作温度和压力 并接时，q=2q1，C=2C1, U=U1;时间常数大，用于电荷输出;串接时，q=q1，C=C1/2, U=2U1用于电压输出 6.1.3 压电式传感器 单片压电元件的电量甚微，采用多片同型