气体质量流量控制器流量计.PDFVIP

气体质量流量控制器（流量计） S48 32/HMT 使用说明 (Ver.2.1) 北京堀场汇博隆精密仪器有限公司 目录 1. 概述 1 2. 名词解释 2 3. 工作原理 5 4. 技术指标 7 5. 产品安装 8 6. 使用方法和操作步骤 16 7. 警告和注意 19 8. 故障判断和处理 22 9. 附录：标定和不同气体的换算 25 1. 概述 本产品为热式质量流量控制器，利用气流流过毛细管，改变毛细管温度分布， 造成上下游温差方法，而测得气体质量流量。不同于容积式流量计，其流量精度 不受气体压力、环境温度影响。由于上下游温差总是实时反应气流瞬时流量， 所以特别适用于过程控制中的气体流量的精密测量和控制。 1.1 使用范围 质量流量控制器广泛应用于半导体制造、真空镀膜、分析、化工、环境等 行业的气流测量与控制。 1.2 质量流量控制器（流量计） 质量流量控制器（流量计）(Mass Flow Controller （meter）缩写为MFC （MFM）