电阻应变式传感器教材教学课件.ppt

第五章 电阻应变式传感器;5.1 概述;5.2 金属电阻应变片的结构和类型 ;1、金属丝式应变片 金属丝式应变片的敏感栅由金属丝绕制而成。金属丝材料为电阻率ρ大而电阻温度系数小的材料。丝式应变片的规格一般以使用面积(L*b)和敏感栅的电阻值来表示。阻值一般在50～10OOΩ范围内，常用的为12OΩ。;2、金属箔式应变片 箔式应变片的敏感栅通过光刻、腐蚀等工艺制成，可根据需要制成任意形状，具有表面积大、散热性好、允许电流大、便于成批生产等优点。;3、金属薄膜应变片 金属薄膜应变片是采用真空溅射或真空沉积的方法制成，它将可产生形变的金属或合金直接沉积在弹性元件上而不用粘合剂。这样应变片的性能更好，灵敏度高。所谓薄膜指厚度在0.1μm以下的金属膜。厚度在25μm左右的称厚膜箔式应变片即属厚膜。;5.3 金属电阻应变片工作原理 ;2、工作原理:应变效应 设有一根圆截面的金属电阻丝如图5-2所示。其原始电阻为：;当温度变化Δt, 应变片电阻的增量ΔRt可用下式表示： ΔRt=RοαΔt+RοK(α1- α2)Δt = Rο[α+K(α1- α2]Δt 令 αt= α+K(α1- α2) 则： ΔRt= RοαtΔt 3、蠕变 与粘贴相关，基片、粘合剂、被测件材料需相适应。否则不能将被测件表面变形准确地传递给应变片。 另外须注意的事项：应变极限，疲劳寿命，绝缘电阻，最大电流。;5.5 分类;应变计;半导体式体型薄膜型、扩散型、外延型、PN结及其他形式 金属电阻应变计常见的形式有丝式、 箔式、 薄膜式等。 丝式应变计是最早应用的品种。 金属丝弯曲部分可作成圆弧、锐角或直角, 如图所示。 弯曲部分作成圆弧（U）形是最早常用的一种形式, 制作简单但横向效应较大。 直角（H）形两端用较粗的镀银铜线焊接, 横向效应相对较小, 但制作工艺复杂, 将逐渐被横向效应小、 其他方面性能更优越的箔式应变计所代替。;箔式应变计的线栅是通过光刻、腐蚀等工艺制成很薄的金属薄栅（厚度一般在0.003～0.01mm）。与丝式应变计相比有如下优点:  (1)工艺上能保证线栅的尺寸正确、 线条均匀, 大批量生产时, 阻值离散程度小。 (2)可根据需要制成任意形状的箔式应变计和微型小基长（如??长为0.1 mm）的应变计。 (3) 敏感栅截面积为矩形, 表面积大, 散热好, 在相同截面情况下能通过较大电流。 (4) 厚度薄, 因此具有较好的可挠性, 它的扁平状箔栅有利于形变的传递。 (5) 蠕变小, 疲劳寿命高。 (6) 横向效应小。 (7) 便于批量生产, 生产效率高。 ;几种箔式应变计;制作应变计敏感元件的金属材料应有如下要求:  (1)k0大, 并在尽可能大的范围内保持常数。 (2)电阻率ρ大。 这样, 在一定电阻值要求下, 同样线径, 所需电阻丝长度短。 (3)电阻温度系数小。高温使用时, 还要求耐高温氧化性能好。 (4)具有良好的加工焊接性能。 常用的敏感元件材料是康铜（铜镍合金）、镍铬合金、铁铬铝合金、 铁镍铬合金等。 常温下使用的应变计多由康铜制成。 半导体应变计应用较普遍的有体型、薄膜型、扩散型、外延型等。体型半导体应变计是将晶片按一定取向切片、研磨、再切割成细条, 粘贴于基片上制作而成。;5.6 应变片命名规则 ;敏感栅结构形状:AA——单轴片 HA——45°双联片 GB——半桥片 FG——全桥片 KA——圆片 材料线膨胀系数:铜Cu——11 铝Al——23 不锈钢——16 ;可自补偿蠕变标号: T5 T3 T1 T8 T6 T4 T2 T0 N2 N4 N6 N8 N0 N1 N3 N5 N7 N9蠕变由负到正。 举例: B F 350-3 AA 23 T0 （箔式, 酚醛类基底材料, 标称电阻350 Ω, 应变计栅长 3 mm, 单轴片, 材料线膨胀系数铝Al——23, 可自补偿蠕变标号T0。 ）;5.7 应变片的主要特性及参数 ;3、允许工作电流Imax 又称最大工作电流，指允许通过应变片而不影响其工作特性的最大电流值Imax。确定Imax值是由多种因素综合考虑的结果，一般由厂家提