二维光电水平倾角测量系统-光学精密工程.PDF

第 卷 第 期 光学精密工程 棽椀 暋 棻棽 暋 斨旓旍棶棽椀暋斘旓棶棻棽 暋暋暋暋暋暋暋暋暋暋斚 旚旈斻旙斸旑斾斝旘斿斻旈旙旈旓旑斉旑旈旑斿斿旘旈旑暋暋暋暋暋暋暋 年 月 旔 旂 旂 棽棸棻椃 棻棽 暋 暋 暋 斈斿斻棶棽棸棻椃 文章编号 棬 棭 暋棻棸棸棿灢椆棽棿斬棽棸棻椃棻棽灢棾棻棽棸灢棸椄 二维光电水平倾角测量系统 灣 棳 棳 棳 王洪远 段发阶 蒋佳佳 张 聪 暋 棬 棳 棭 天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室 天津 棾棸棸棸椃棽 椇 棳 棳 摘要 针对高端装备制造中对大尺度机床误差测量与补偿的要求 本文基于光学自准直原理和液体表面反射原理 研制 暎 棳 了一种二维光电水平倾角测量系统以实现对机床滚转角和俯仰角的测量 该系统使用半导体激光器发射激光 经光学 暎 棳 棳 自准直系统于待测硅油表面将被测倾角放大二倍 然后 由位置敏感探测器感测光斑位置变化 输出包含角度信息的光 棳 暎 棳 电流信号 并由低噪声四路同步微弱信号处理电路进行相同倍数的放大以减小误差 最终 由高速采集卡进行数据采 棳 暍 暍 棳 暎 棳 集 经均值滤波 曲线拟合 解算处理后将其转化为倾角信息 从而实现二维角度测量 在光学平台进行了对比实验 结 椇 棷 棬 棭 棳 棷 棬 棭棳 果表明 测量系统在棴棻棸暙棻棸旐旐旐 约为棴棽棸棸棸曞暙棽棸棸棸曞量程内 角度测量误差小于暲棸棶棸椀棸旐旐旐 约为暲棻棸曞 线 棳 暍 暍 暎 性度优于 棸棶棽椀棩满足大尺度机床二维水平倾角检测对大量程 高精度 高稳定性的要求 椇 椈 椈 椈 椈 关 键 词 水平倾角测量 自准直 液体表面反射 均值滤波 曲线拟合 暋 暋 中图分类号椇 椈 文献标识码椇 椇 棷 斣斅椆棽棽斣斎椃棿棻暋暋 斄暋暋斾旓旈棻棸棶棾椃椄椄斚斝斉棶棽棸棻椃棽椀棻棽棶棾棻棽棸 斄旚旝旓灢斾旈旐斿旑旙旈旓旑斸旍旇旓旚旓斿旍斿斻旚旘旈斻旍斿旜斿旍旈旑斻旍旈旑斸旚旈旓旑旐斿斸旙旛旘旈旑 旙旙旚斿旐 旔 旂旟 灣 棳 棳 棳