台积电节能案例.doc

附件六-1 經濟部節約能源績優廠商表揚活動 節約能源或抑低二氧化碳排放措施及成效資料表 編號： 申請單位名稱 台灣積體電路製造股份有限公司 申請單位分支機構名稱 台積電十四廠 節約能源或抑低 二氧化碳排放主題 案例一、VOC瓦斯減量 實施日期 九十五年一月 節能 措 施 在VOC處理效率須符合法規的前提下，避免過度燃燒浪費能源，使VOC瓦斯耗量合理化，同時降低公司的運轉成本，達到節能的效益 設 計 理 念 或 改 善 方 案 FAB14 P1VOC 設計風量為50000CMH，共6SETS DESIGN DATA 脫附的風量為3855CMH 濃縮倍數為13倍 VOC燃燒的溫度730℃ 脫附的溫度200℃ 改善方案： 降低VOC脫附的風量 將3855CMH調整為3500CMH 增加脫附時VOC的濃度 將VOC ROTOR的轉速35HZ調整為30HZ 降低VOC燃燒的溫度 將VOC燃燒的溫度730℃調整為715℃ 約可節省262,800m3 /年之瓦斯量，節省運轉成本3,850仟元/年 節 能 成 效 經計算改善後每年共節省瓦斯量 262,800m3 /年 每年總節省金額：262,800m3 /年×14.65元/ m3＝3,850仟元/年， 約省下3,850仟元(1 m3NG=14.65元計算之) 換算成抑低二氧化碳排放率：262,800 m3× 2.1/1000=551.88噸-CO2/年  原理說明(flow chart)： 含有VOCs廢氣自處理區進入沸石轉輪，此時廢氣中之VOCs廢氣大部分均被沸石轉輪之沸石吸附材吸附，繼而大幅降低VOCs廢氣含有量而成為較乾淨之空氣，此一部份較乾淨之氣體由另一側排出，進入煙囪排入空氣中；然而另一部份氣體需用來脫附再生區之氣源。由冷卻區導入燃燒機二次熱交換器，再經再生區後之再生濃縮空氣將成為含有高濃度VOCs之廢氣，而進入燃燒機燃化（約730℃），達到淨化功能；沸石轉輪運轉時，由吸附區轉至脫附區再轉至冷卻區，連續的緩慢轉動，以達去除VOCs廢氣的作用。 燃燒爐總消耗熱能Heat Req.計算 =3855x1.293x0.26x(730-35)=900702 Kcal/Hr 熱回收熱能Heat Rec.計算 =900702x0.6=540421 Kcal/Hr VOCs燃燒熱能Heat Voc計算 =3855x1.293x0.26x200/1000000x 6782= 139943 Kcal/Hr 燃料供應熱能Heat Sup計算 =900702-540421-139943=220338 Kcal/Hr Heat Req. 900702 Kcal/Hr Heat Rec. 540421 Kcal/Hr Heat VOC 139943 Kcal/Hr Heat Sup 220338 Kcal/Hr 原理說明(flow chart)： Main Chemical Compounds 分子量 M.W. 分子燃燒熱(Kcal/kg) 百分比(%) T99.00(1.0S) 異丙醇 IPA 60.00 7517 30.00% 632.39 丙酮 Acetone 58.08 6965 20.00% 682.22 PGMEA 131.00 5931 25.00% 546.77 PGME 90.00 6611 23.00% 509.91 MEA 61.00 4821 1.00% 708.93 DMSO 73.09 6823.35 0.40% 301.37 NMP 99.00 9262 0.50% 589.66 HMDS 161.00 8857 0.10% 658.86 ※因此將VOC燃燒的溫度730℃調整為715℃ voc濃度(ppm) 熱量需求(Kcal/Hr) NG (m3/Hr) NG (NT/m3) 費用(NT/Y) 100 220338 29.92 14.65 $ 3,840,246 降低需求熱量(Kcal/Hr) NG (m3/Hr) NG (NT/m3) 費用(NT/Y) SET TOTAL費用(NT/Y) 45000 5 14.65 641,670 6 3,850,020 附件六-2 經濟部節約能源績優廠商表揚活動 無塵室壓力調降成效資料表 編號： 申請單位名稱 台灣積體電路製造股份有限公司 申請單位分支機構名稱 台積電十四廠 節約能源或抑低 二氧化碳排放主題 案例二、無塵室壓力調降 實施日期 九十五年一月 節能 措 施 在不影響無塵室內部氣流流場