[工学]第二章 电阻式传感器.ppt

第二章 电阻式传感器 前言 第一节 应变式传感器 第二节 压阻式传感器 习题 前言 电阻式传感器的基本原理是将被测的非电量转换成电阻值的变化，再经过转换电路变成电量输出。 我们先来看一个例子，通过这个例子来体会一下将非电量转化为电阻值的变化。 如图： 由于构成电阻的材料种类很多，如导体、半导体、电解质溶液等。而引起电阻变化的物理原因也很多，如导体、半导体的长度变化或内应力变化、温度变化、载流子数量等，根据这些不同的物理原理，就产生了各种各样的电阻式传感器。 下面看两个由改变半导体导电特性而引起电阻变化的的例子。（思考其属于结构型还是物性型） 以上看到的例子都属于电阻传感器，但本章的重点内容是介绍基于电阻应变效应的应变式电阻传感器。 下面来看一个利用应变式电阻传感器测量大压力载荷的例子： 电阻式传感器可以测量力、压力、位移、应变、加速度、温度等非电量参数。一般来说，电阻式传感器的结构简单，性能稳定，灵敏度较高，有的还使用于动态测量。 第一节 应变式传感器 电阻应变式传感器是利用电阻应变片将应变转换为电阻变化的传感器，传感器由在弹性元件上粘贴电阻应变敏感元件构成。当被测物理量作用在弹性元件上时，弹性元件的变形引起应变敏感元件的阻值变化，通过转换电路将其转变成电量输出，电量变化的大小反映了被测物理量的大小。 应变式传感器的工作原理是什么？ 是基于金属导体的应变效应，即金属导体在外力作用下发生机械变形时，其电阻值随着它所受机械变形(伸长或缩短)的变化而发生变化的现象。 则在未受力时的原始电阻为 R=ρL/S 如果金属丝沿轴向方向受拉力而变形，其长度 L 变化dL，截面积 S 变化dS，电阻率ρ变化，因而引起电阻 R 变化dR。将上式微分，整理有 式中的ΔL/L为电阻丝的轴向应变，用ε表示，常用单位με。若径向应变为Δr/r，电阻丝的纵向伸长和横向收缩的关系用泊松比μ表示为Δr/r=-μ(ΔL/L)，因为ΔS/S=2(Δr/r)，则上式（应变效应的表达式）可写成 ? 通常把单位应变能引起的电阻值变化称为电阻丝的灵敏度系数。其物理意义是单位应变所引起的电阻相对变化量，其表达式为 灵敏度系数受哪两个因素的影响呢？ 对于金属材料电阻丝，灵敏度系数表达式中（1+2μ）的值要比（Δρ/ρ）/ε大得多，而半导体材料的（Δρ/ρ）/ε项的值比（1+2μ）大得多。大量实验证明，在电阻丝拉伸极限内，电阻的相对变化与应变成正比，即 K 为常数。 K=1+2μ=常数 通常金属电阻丝的 K =1.7 ～3.6 之间。 应变片的基本结构及测量原理 我们先看一下电阻应变计的组成： 用应变片测量受力应变时，将电阻应变片用特殊胶剂粘在被测对象的表面上。在外力作用下，被测对象表面发生微小机械变形时，应变片敏感栅将随同变形，其电阻值也随之变化，当测得应变片电阻值变化量ΔR时，便可得到被测对象的应变值。根据应力与应变的关系，得到应力值σ为 σ=E·ε 由此可知，应力值σ正比于应变ε，而试件应变ε正比于电阻值的变化，所以应力σ正比于电阻值的变化，这就是利用应变片测量应变的基本原理。 应变片的类型和材料 电阻应变片品种繁多, 形式多样。 但常用的应变片可分为两类: 金属电阻应变片和半导体电阻应变片。  金属应变片的组成如下图所示。 金属电阻应变片分为丝式、箔式和薄膜式三种。上例中为丝式。金属箔式应变片的敏感栅，则是用栅状金属箔片代替栅状金属丝。金属箔栅采用光刻技术制造，适用于大批量生产。由于金属箔式应变片具有线条均匀、尺寸准确、阻值一致性好、传递试件应变性能好等优点，因此，目前使用的多为金属箔式应变片，其结构见图。 金属应变片的主要特性 （一）灵敏系数 灵敏系数系指应变片安装于试件表面，在其轴线方向的单向应力作用下，应变片的阻值相对变化与试件表面上安装应变片区域的轴向应变之比。 实验表明，电阻应变片的灵敏系数 k 恒小于电阻丝的灵敏系数k0，其原因除了粘结层传递变形失真外，还存在有横向效应。 （二）横向效应 我们先看关于横向效应的示意图： （a）应变片及轴向受力图