《传感器与检测技术》课件PPT 5 压电式传感器.ppt

但是，当被测动态量变化缓慢，而测量回路时间常数不大时，会造成传感器灵敏度下降，因而要扩大工作频带的低频端，就必须提高测量回路的时间常数τ。但是靠增大测量回路的电容来提高时间常数，会影响传感器的灵敏度。根据传感器电压灵敏度Ku的定义得 因为ωR1，故上式可以近似为 可见，Ku与回路电容成反比，增加回路电容必然使Ku下降。为此常将Ri很大的前置放大器接入回路。其输入内阻越大，测量回路时间常数越大，则传感器低频响应也越好。当改变连接传感器与前置放大器的电缆长度时Cc将改变，必须重新校正灵敏度值。 2、电荷放大器 电荷放大器是一个具有深度负反馈的高增益放大器，其基本电路如图。若放大器的开环增益A0足够大，并且放大器的输入阻抗很高，则放大器输入端几乎没有分流，运算电流仅流入反馈回路CF与RF。由图可知i的表达式为： －A0 Ca U∑ USC 电荷放大器原理电路图 i Ra q CF RF 根据上式画出等效电路图 －A0 Ca Ra R’ C’ USC U∑ q CF、RF等效到A0的输入端时，电容CF将增大(1＋A0)倍。电导1／RF也增大了(1＋A0)倍。所以图中C?=(1＋A0)CF；1/R?=(1＋A0)1／RF，这就是所谓“密勒效应”的结果。 输出电压 当A0足够大时,传感器本身的电容和电缆长短将不影响电荷放大器的输出。因此输出电压USC只决定于输入电荷q及反馈回路的参数CF和RF。由于1／RFωCF,则 可见当A0足够大时，输出电压与A0无关，只取决于输入电荷q和反馈电容CF，改变CF的大小便可得到所需的电压输出。 CF一般取值100-104pF。 运算放大器的开环放大倍数A0对精度有影响，当频率很高时，则 及 由此得A0＞105。对线性集成运算放大器来说，这一要求是不难达到的。 例,Ca=1000pF,CF=100pF,Cc=(100pF/m)×100m=105pF,当要求δ≤1%时，则有 则可计算产生的误差为 四、压电式传感器的应用 （一）压电式加速度传感器 （二）压电式压力传感器 （三）压电式流量计 （四）集成压电式传感器 （五）压电式传感器在自来水管道测漏中的应用 当传感器感受振动时，因为质量块相对被测体质量较小，因此质量块感受与传感器基座相同的振动，并受到与加速度方向相反的惯性力，此力F＝ma。同时惯性力作用在压电陶瓷片上产生电荷为 运动方向 2 1 3 4 5 纵向效应型加速度 传感器的截面图 （一）?? 压电式加速度传感器 其结构一般有纵向效应型、横向效应型和剪切效应型三种。纵向效应是最常见的,如图。压电陶瓷4和质量块2为环型，通过螺母3对质量块预先加载，使之压紧在压电陶瓷上。测量时将传感器基座5与被测对象牢牢地紧固在一起。输出信号由电极1引出。 q＝d33F＝d33ma 此式表明电荷量直接反映加速度大小。其灵敏度与压电材料压电系数和质量块质量有关。为了提高传感器灵敏度，一般选择压电系数大的压电陶瓷片。若增加质量块质量会影响被测振动，同时会降低振动系统的固有频率，因此一般不用增加质量办法来提高传感器灵敏度。此外用增加压电片数目和采用合理的连接方法也可提高传感器灵敏度。 连接方式：图(a)为并联形式，片上的负极集中在中间极上，其输出电容C?为单片电容C的两倍，但输出电压U?等于单片电压U，极板上电荷量q?为单片电荷量q的两倍，即 图(b)为串联形式，正电荷集中在上极板，负电荷集中在下极板，而中间的极板上产生的负电荷与下片产生的正电荷相互抵消。从图中可知，输出的总电荷q?等于单 片电荷q，而输出电压U?为单片电压U的二倍，总电容C?为单片电容C的一半，即 + + － － (a)并联 (b)串联 叠层式压电元件 + + － + + － － 并联接法，输出电荷大，时间常数大，宜用于测量缓变信号，并且适用于以电荷作为输出量的场合。 串联接法，输出电压大，本身电容小，适用于以电压作为输出信号，且测量电路输入阻抗很高的场合。 （二）? 压电式压力传感器 根据使用要求不同，压电式测压传感器有各种不同的结构形式。但它们的基本原理相同。 压电式测压传感器的原理简图。它由引线1、壳体2、基座3、压电晶片4、受压膜片5及导电片6组成。当膜片5受到压力P作用后，则在压电晶片上产生电荷。在一个压电片上所产生的电荷q为 F——作用于压电片上的力； d11——压电系数； P——压强， ； S——膜片的有效面积。 1 2 3 4 5 6 p 压电式测压传感器原理图 测压传感器的输入量为压力P，如果传感器只由一个压电晶片组成，则根据灵敏度的定义有： 因为