压电传感器的实际等效电路.pptVIP

* 第六章 压电式传感器 压电式传感器是一种有源的双向机电传感器。它的工作原理是基于压电材料的压电效应。石英晶体的压电效应早在1680年即已发现，1948年制作出第一个石英传感器。 当某些材料受力作用而变形时, 其表面会有电荷产生，从而实现非电量测量。压电式传感器具有体积小, 重量轻, 工作频带宽等特点, 因此在各种动态力、 机械冲击与振动的测量, 以及声学、 医学、力学、宇航等方面都得到了非常广泛的应用。 6.1 压电效应 6.2 压电材料 6.3压电式传感器测量电路 6.4压电式传感器的应用 6.1 压电效应 某些电介质，当沿着一定方向对其施力而使它变形时，内部就产生极化现象，同时在它的两个表面上便产生符号相反的电荷， 当外力去掉后，又重新恢复到不带电状态。这种现象称压电效应。 当作用力方向改变时，电荷的极性也随之改变。有时人们把这种机械能转换为电能的现象， 称为“正压电效应”。 相反，当在电介质极化方向施加电场，这些电介质也会产生几何变形，这种现象称为“逆压电效应”（电致伸缩效应）。具有压电效应的材料称为压电材料，压电材料能实现机—电能量的相互转换，如图所示。 ? 6.1.1 基本概念 压电效应可逆性 在自然界中大多数晶体都具有压电效应，但压电效应十分微弱。随着对材料的深入研究，发现石英晶体、钛酸钡、锆钛酸铅等材料是性能优良的压电材料。 压电材料可以分为两大类：压电晶体和压电陶瓷。 6.1.2 压电效应的数学模型 　 根据压电效应原理，当一个平行于X轴的力Fx作用在压电转换元件的平面上时，压电元件表面的电荷密度q1为： q1 ＝ d11 F1 　　如果同时对压电转换元件的X、Y、Z三个轴的方向上作用拉（压）力，对YZ、XY、XZ平面上作用切向应力，则各平面的电荷密度可用数学模型表示如下： 由式可知，在压电晶体弹性变形的范围之内，电荷密度与作用力之间的关系是线性的。 q1 ＝ d11 σ1 ＋ d12 σ2 ＋ d13 σ3＋ d14σ4＋ d15 σ5＋ d16σ6 q2＝ d21 σ1 ＋ d22 σ2 ＋ d23 σ3＋ d24σ4＋ d25 σ5＋ d26σ6 q3 ＝ d31 σ1 ＋ d32 σ2 ＋ d33 σ3＋ d34σ4＋ d35 σ5＋ d36σ6 式中：q1、q2、q3——分别为平面Sx、Sy、Sz上的电荷密度； σ1、σ2、σ3——分别为作用在Sx、Sy、Sz平面上的应力；σ4 、σ5、σ6——切向应力； dij——表示j方向受力而在i方向上产生电荷时的压电系数。 压电转换元件坐标系表示法 将上式写为矩阵形式，则有： D称为压电系数矩阵 但由于压电晶体的各向异性，并不是所有的压电晶体都能在这几种变形状态下产生压电效应。 6.2 压电材料 6.2.1 压电材料的主要特性参数: （1） 压电常数 是衡量材料压电效应强弱的参数, 它直接关系到压电输出的灵敏度。 （2） 弹性常数 压电材料的弹性常数、 刚度决定着压电器件的固有频率和动态特性。 （3） 介电常数 对于一定形状、 尺寸的压电元件, 其固有电容与介电常数有关; 而固有电容又影响着压电传感器的频率下限。 （4） 机械耦合系数 在压电效应中, 其值等于转换输出能量（如电能）与输入的能量（如机械能）之比的平方根; 它是衡量压电材料机电能量转换效率的一个重要参数。 （5）居里点 压电材料开始丧失压电性能的温度点　 作为敏感元件对压电材料的要求是：具有大的压电系数d；机械强度高，刚度大，以便获得高的固有频率；高电阻率和大介电常数；高的居里点；温度、湿度和时间稳定性好。 压电材料可分为三大类：压电晶体（单晶）、压电陶瓷（多晶半导瓷）和新型压电材料（包括压电半导体和高分子压电材料）。 6.2.2 石英晶体 石英晶体化学式为SiO2，是单晶体结构。下图（a）表示了天然结构的石英晶体外形，它是一个正六面体。石英晶体各个方向的特性是不同的。 x轴是平行于相邻柱面内夹角的等分线，垂直与此轴的面上压电效应最强，故称为电轴； 垂直六边形对边的轴线为y轴，在电场作用下，沿该轴方向的机械变形最明显故称为机械轴； 与x和y轴同时垂直的轴称为z轴，沿z轴方向的力作用时不产生压电效应，故称为光轴。 有关晶片的切性及